POSIFA流量传感器如何能够抗堵塞和压力冲击

盛思瑞特-叶工 20250524

  • 呼吸机传感器
  • MEMS传感器技术

流量传感器的主要威胁是什么?

以呼吸机为例,水汽凝结会导致传感器读数受阻和失真。事实上,呼吸机内所有传感器都可能遭遇水汽凝结问题,因为它们使用的空气均由压缩机输送。当空气被压缩时,水分凝结并在损害下游传感器组件前被过滤清除。

但若过滤系统出现故障,导致水流经监测气流的传感器会怎样?若该传感器运作依赖于传感器芯片上的表面空腔或脆弱膜片,则极易因水汽凝结导致堵塞损坏。采用此类气流传感器的呼吸机通常需要停用维修。

固态质量空气流量传感器产品,如Posifa Technologies公司的PMF2000和PMF4000,彻底改变了这一技术范式。该产品摒弃了传统的表面空腔或易碎膜结构,转而采用传感器芯片上一种名为"多孔硅"的创新构造,在芯片表面实现热隔离。由于多孔硅制造工艺与微处理器等固态电子器件采用的CMOS微加工技术完全兼容,Posifa的流量传感器不仅具备更强的可制造性和扩展性,其微观结构也更为坚固可靠。

Posifa流量传感器芯片采用双热电堆结构检测质量流量引起的温度梯度变化,具有卓越的信噪比和重复性。芯片上的多孔硅热隔离结构彻底消除了竞争技术所需的表面空腔或脆弱膜层,使传感器具备优异的抗堵塞和抗压力冲击性能。

传统MEMS流量传感器技术(左)依赖于膜片和腔体进行热隔离。Posifa technologies的MEMS传感器技术(右)显著更坚固,因为没有脆弱的膜片会受损或腔体会被堵塞。


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