天恒科仪（苏州）光电技术有限公司

天恒科仪（苏州）光电技术有限公司成立于2017年，专注于高精度测试测量系统的研发、设计与服务。核心业务涵盖集成系统、探针测试平台、定制综合测试平台及系统等产品的开发。

公司深耕行业十余年，凭借自主软硬件开发能力及全链条技术整合优势，助力客户从器件研发到量产全周期的效率提升，定制化服务，为科研院所、高校及企业客户提供高效可靠的产品支持与售后服务，致力于成为测试测量领域的创新与长期合作伙伴。

01集成系统

天恒科仪-集成系统

天恒科仪-晶圆测试系统

晶圆测试系统：

高低温精准控温（-80℃至+200℃，±0.1℃）1μm微调机械及超高分辨率电性测试（0.1fA/0.1fF）;

搭配智能化软件与多接口兼容，实现复杂工况下的高效、全自动精准测试

天恒科仪-功率器件测量系统

功率器件测量系统：

1μm高精度微调、超高压/大电流测试，及高温环境支持；

兼容多尺寸晶圆，结合软件实现全自动精准测量与实时分析。

天恒科仪-射频微波测试系统

射频微波测试系统：

通过宽频带覆盖、高精度信号生成与分析及多制式兼容性，结合自动化测试与实时校准能力；

在通信、雷达及卫星领域实现高效复杂信号处理与设备性能验证，同时提升测试灵活性与系统集成度。

天恒科仪-光电耦合测试系统

光电耦合测量系统：

高精度光学（200-2500nm光谱，0.7μm定位）与超灵敏电性测试（0.1fA/0.1fF分辨率）;

全光谱调节与智能软件控制，实现光电参数实时分析及自动化测量，满足复杂器件的高效精准测试需求。

02探针台

天恒科仪-探针台

天恒科仪-密闭高低温探针台

密闭高低温探针台：

具备多尺寸兼容（6/8/12英寸）、高精度定位及真空吸附稳定性，集成快速升降与灵活载台；

支持高效操作与复杂环境下的精准测试需求。

天恒科仪-闭循环真空高低温探针

闭循环高低温探针台：

温控（4K~400K，±1mK精度，超高真空（1×10⁻¹⁰mbar，10fA泄漏）与G-M闭循环制冷），搭配1μm精密定位及多类型测试接口，提供无污染、高稳定环境，满足量子器件、半导体及材料的测试需求。

天恒科仪-大功率探针台

大功率探针台：

大功率探针台通过高精度调节（1μm/0.01°）、高效真空吸附与快速样品抽放；

稳定耐用的防腐台面及灵活多轴显微镜操控，全面适配直流等多场景测试需求。

天恒科仪-射频微波探针台

射频微波探针台

以高精度、高效率、高稳定为核心，适配射频/微波等多场景测试，满足从微小样品到大型晶圆的多样化需求。

03测量仪表

天恒科仪-测量仪表

天恒科仪-源表

源表

集成电源输出与精密测量功能，在半导体、新能源领域实现高效可靠的测试，简化系统架构降低成本。

天恒科仪-示波器

示波器：

实时捕捉与显示电信号波形，在电子调试、通信检测等领域实现快速故障诊断与信号解析，提升测试效率与准确性。

天恒科仪-信号源

信号源：

高稳定、宽频带的可编程信号，在通信、雷达及电子测试中确保信号可靠性与测试效率，简化系统配置。

天恒科仪-半导体参数分析仪

半导体参数分析仪：

加快各类材料、半导体器件和工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。

04工艺制程

天恒科仪-工艺制程

天恒科仪-等离子清洗机

等离子清洗机：

等离子体技术堪称半导体等现代行业的材料处理的多能技术。清洗方面,可为几乎所有类型的污染物、所有基材和所有后续处理提供解决方案,分解由分子级的工艺残留污染物。

天恒科仪-HMDS预处理系统

HMDS预处理系统：

HMDS晶片预处理系统主要用于半导体芯片涂胶前的预处理工艺,去除晶片表面的0H强基,形成HMDS膜,增强涂胶后的附着力，提高光刻质量增加成品率。

天恒科仪-无尘无氧烘箱

无尘无氧烘箱：

一种新型工业级洁净干燥设备,采用内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。

天恒科仪-高精密匀胶机

高精密匀胶机：

旋转及控制系统采用定制开发的无刷/同服电机,结构精密,制造严谨。控制系统相较普通的匀胶机升级为双闭环P!转速控制,同时检测转速和电流,加速度调节可控可信,通过消除静态误差,最终转速真实准确。

05测试软件

1. 天恒科仪-温控测试软件

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