天恒科仪-产品样册 | 探针台篇
天恒科仪(苏州)光电技术有限公司专注于高精度测试测量系统和设备的研发、设计、生产、销售。为科研到量产的测试测量提供一站式解决方案
02探针台
密闭高低温探针台:
- 型号:HTM-600C/800C/1200C
- 功能定位:支持高低温测试环境(通常为 -70°C 至 +200°C),全密闭腔体设计,可控制内部气氛(如防氧化、防潮)。
- 核心部件:样品台、探针台台体、高倍率显微镜
- 典型应用:大尺寸芯片、晶圆级器件的电学性能测试,需温度循环或稳定温控的可靠性验证
闭循环低温探针台:
- 型号:HCP Series
- 功能定位:闭循环制冷技术(无需液氦/液氮消耗),可达到极低温(表格中应为 4K 至室温范围)。支持高真空或惰性气体环境。
- 核心部件:样品台、探针台台体、真空探臂
- 典型应用:量子器件、超导材料、纳米电子学等研究,需极低温、无振动、高精度测量的前沿实验。
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大功率探针台:
- 型号:HTM-600P/800P/1200P
- 功能定位:高功率电性测试支持 100A~500A 大电流 和 100pA/100fA 级低漏电 的高精度测量。专注于功率半导体(如IGBT、MOSFET)、高压器件的可靠性验证。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:5G/毫米波芯片、射频IC、太赫兹器件等高 频电路的片上测试。
射频/微波探针台
- 型号:HTM-600P/800P/1200P
- 功能定位:高功率电性测试支持 100A~500A 大电流 和 100pA/100fA 级低漏电 的高精度测量。专注于功率半导体(如IGBT、MOSFET)、高压器件的可靠性验证。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:大功率芯片、电源管理IC的静态参数测试(如击穿电压、导通电阻等)。
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高温探针台:
- 型号:HTM-600P/800P/1200P
- 功能定位:高温环境测试专为高温工况设计。多物理量集成测试,支持电学(DC-1100GHz)、光学(紫外/可见光/红外)、大功率(10kV/1500A)复合测量
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:高温半导体器件、功率IC、光电芯片的多维度可靠性测试
平板探针台:
- 型号:HTMP
- 功能定位:快速基础测试平台,精简版设计,聚焦常规电学,测量高定制灵活性样品台尺寸、功能模块可按需定制。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:科研教学、芯片初筛、小批量生产快速电性检测
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通用探针台:
- 型号:HTM-600/800/1200
- 功能定位:多功能电性测试平台,覆盖基础至超高频、微电流至大功率的全场景需求。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:半导体晶圆全参数测试、光电芯片验证、高精度微电流测量
负载牵引探针台:
- 型号:HWM-800
- 功能定位:专业级微波器件阻抗匹配测试,专注负载牵引技术(Load-pull)优化。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:5G/6G射频功放芯片、微波器件阻抗优化、高频率负载特性分析
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小型探针台:
- 型号:HTP-600/800/1200
- 功能定位:紧凑型常规测试平台,适用于基础电性测量与教学研发场景,主打高性价比与操作便捷性。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:实验室教学演示、芯片初筛测试、常规DC至高频验证
小型真空高低温探针台:
- 型号:HMCP-Series
- 功能定位:集成 真空腔体 + 宽温区控制 + 多物理场测试,解决极端工况(极低温/高温/惰性气氛)下的器件可靠性验证。
- 核心部件:样品台、光学系统、探针系统
- 典型应用:量子材料极低温电性测试 、功率芯片高温可靠性验证 、敏感器件惰性气氛防污测试
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