天恒科仪-产品样册 | 探针台配件篇

天恒科仪(苏州)光电技术有限公司专注于高精度测试测量系统和设备的研发、设计、生产、销售。为科研到量产的测试测量提供一站式解决方案

03探针台配件

微定位探针座：

• 功能定位：
• 移动范围：全系支持 12mm × 12mm × 12mm 三轴无回差精密位移
• 吸附方式：均采用磁性可开关底座
• 探针兼容性：支持四类夹具
• 三同轴、同轴、高压、大电流

天恒科仪-微定位探针座

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夹具电缆：

• 功能定位：专业弱电流信号输出、全系列聚焦 100fA级超低漏电精度测试场景，专为半导体微电流/高阻抗器件设计。
• 全线支持 50Ω特性阻抗，保障信号运输的完整性。

天恒科仪-夹具电缆

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测试夹具：

• 功能定位：提供芯片引脚与测试机间的低阻抗、高稳定性信号传输路径。
• 精准定位BGA/QFN/CSP等封装芯片，确保测试接触零位移。
• 部分型号支持-55℃~150℃高低温测试。
• 测试场景：芯片烧录专用、功能参数测试、老化寿命测试

直流探针：

• 材质：高纯度固体钨针
• 长度：标准1.26英寸
• 包装：5根/盒装
• 镀镍选项：可选表面镀镍，增强耐腐蚀性
• 测试场景：晶圆级参数测试、FIB修复后电极接触、敏感芯片点测、高震动环境
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天恒科仪-夹具探针

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开尔文探针：

• 名称：同轴探针支架
• 功能定位：实现 10fA级（0.01pA）超低电流测量，专为精密电性测试场景设计
• 名称：同轴替换针尖
• 功能定位：提供灵活定制与高兼容性 的探针尖端解决方案

天恒科仪-开尔文探针

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探针卡：

• 垂直式探针卡：
• APOLLO：支持40微米超细间距、64K+高密度探针及1.8A/针大电流，专攻服务器芯片/Al/AP铜柱/凸点量产测试；Kepler MEMS：适配-40℃~150℃严苛环境，2D垂直弹簧设计减少焊盘损伤，保障车规芯片接触电阻稳定性；垂直针式：行业顶级细间距，宽温多芯片并行测试，优化SoC/微控制器高频信号测量。

• 悬臂式探针卡：
• 标配款支持40μm间距与20/40μm交错设计，3GHz高频带宽满足DDR5等高速芯片测试；
• 低温版适配薄膜/Low-k/CUP敏感材料，可定制针尖规格延长使用寿命，专注存储芯片（30μm起）量产。

• MEMS垂直弹簧探针卡：
• 光刻3D螺旋弹簧实现单针秒级更换，散射干扰最小化，针对先进SoC/微处理器倒装芯片测试提供精密高频直连方案。

天恒科仪-探针卡

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射频探针：

• 高频探针系列：
• 频段：40GHz（DC-40GHz）、67GHz（DC-67GHz）、110GHz（DC-110GHz）
• 触点形式：GSG（标准单端）、GSSG（双信号差分）、SG（单地）等，支持非标定制
• 间距：100~1250μm
• 后缀：
• LL（低频优化）、DF（刀锋针尖，<30μm触点）、SH（弹孔抗疲劳设计）
• AJ（间距可调）、NS（非标定制）、MW/TU2（高频/无频探针）

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

天恒科仪-射频探针

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校准基板：

• 型号：THK-GSG/THK-GSSG校准基板
• 功能定位：SOLT（短路-开路-负载-直通）校准
• 精度：阻抗误差±0.3%，氧化铝材质，金焊盘防腐蚀

天恒科仪-校准基板

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手持探头：

• 型号：THK-Single/Differential Handheld Probe-AJ
• 特性：间距400~4000μm，温域-55℃~125℃，支持单端（GSG）或差分（SS）信号

天恒科仪-手持探头

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高温卡盘：

• 控温方式：开放式液氮制冷
• 温度范围：
• 标准款：-60℃ ~ +300℃
• 卡盘尺寸：8英寸/12英寸

高低温卡盘：

• 控温方式：空气制冷
• 温度范围：
• 高温款：-50℃ ~ +300℃
• 宽温款：-60℃ ~ +200℃
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天恒科仪-高低温卡盘

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