精密测量的终极解决方案：天恒科仪通用探针台全面解析

天恒科仪通用探针台在半导体、光电子及材料科学研究领域，精密电学与光学测量是研发和质量控制的核心环节。

天恒科仪推出的HTM系列通用探针台，正是为满足高标准测量需求而设计的高性能平台。本文将为您深度解析这款产品的核心优势、技术参数及典型应用场景。

天恒科仪通用探针台

核心优势

1. 全面兼容，广泛适用HTM系列提供三种台面尺寸（6英寸、8英寸、12英寸），兼容不同尺寸晶圆、芯片及各类材料样品，满足从研发到中小批量测试的多种需求。

2. 高精度光学与电学测量能力配备180X/500X/1000X多档光学显微镜，支持微米级定位与观测。同时具备电流低至100飞安（fA）的测量精度与高达1100GHz的高频测量能力，兼顾超高灵敏与超宽带特性。

3. 强大的扩展性与灵活性针座台面支持最多10~12个深柱径探针座，可同时接入多组探针，支持复杂多端测量场景，并兼容紫外、可见光与红外光波测量，适合光电类器件测试。

4. 高压高功率支持支持最高10kV / 1500A的高压高电流测试，适用于功率器件、第三代半导体等大功率电子元件的特性分析。

详细参数解析

1.电流精度达100fA：适用于半导体漏电流、薄膜器件电特性等高灵敏度测试。

2.频率覆盖DC–1100GHz：可进行高频、微波、太赫兹频段的S参数测试，适合5G/6G、射频元件、毫米波芯片研发。

3.多波段光波测量：支持紫外到红外的光谱响应测试，是光电传感器、太阳能电池、LED等器件性能分析的理想选择。

通用探针台详细参数

典型应用场景

半导体器件测试：包括晶体管、二极管、集成电路的电特性参数测试。

光电与显示技术：Micro-LED、光电探测器、激光器、显示面板的光电性能分析。

材料科学研究：纳米材料、二维材料（如石墨烯）、半导体薄膜的电学与光学性质测量。

功率电子模块：SiC、GaN等宽禁带半导体器件的高压、大电流、热特性测试。

太赫兹与微波器件：天线、滤波器、谐振器等高频组件的性能验证。

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