突破测量极限！HTM系列高功率探针台助力高效精准测试

在半导体、光电器件及功率器件研发与质量控制领域，高电压、大电流的精准测量一直是技术难点与设备瓶颈所在。

面对高压、微电流及大电流等多重测试挑战，一款性能卓越的探针台成为提升测试效率和数据可靠性的关键。

天恒科仪推出的HTM系列高功率探针台，正是为应对这类复杂测试环境而生，兼具高精度、多参数、灵活配置等优势，成为各类高端器件测试的得力助手。

核心优势和亮点

宽范围测量能力：

支持高压（最高10kV）、大电流（最高500A）、微电流（最低100fA）测量，覆盖绝大多数功率器件和半导体器件的测试需求；

多规格样品兼容：提供6英寸、8英寸、12英寸三种样品台尺寸，满足不同尺寸晶圆及器件的测试要求；

高精度光学观测：配备180X/500X/1000X多档光学放大显微镜，定位精准、观察清晰，助力微区测试；

灵活探针配置：支持最多8~12个探针座同时工作，可进行多通道、多参数同步测试，大幅提升测试效率；

系统稳定性强：整机设计稳健，抗干扰能力强，保障长时间高负荷测试的数据一致性。

详细参数

电学测量范围广：支持最高10kV高压、最低100fA微电流及最大500A大电流测量，覆盖从精密微电流器件到高功率半导体的一切测试需求。

光学观察系统：标配180X/500X/1000X 三档高倍率显微镜，具备卓越的分辨率和景深，助您精准定位微细电极和结构。

HTM-600P：适配6英寸及以下样品，最多支持8个探针座，适合研发和小批量测试。

HTM-800P：适配8英寸样品，最多10个探针座，均衡配置，适用中规模测试。

HTM-1200P：承载12英寸大尺寸晶圆，支持最多12个探针座，为量产级测试和高并行效率设计。

应用领域

功率半导体器件测试：

如IGBT、MOSFET、SiC、GaN等器件的高压、大电流特性分析；

光电元件测试：

激光器、光电二极管、高亮度LED等的性能评估；

微电子与集成电路：

包括晶圆级测试、失效分析、可靠性验证等；

新材料研发：

宽禁带半导体、二维材料、柔性电子等前沿领域的电性表征；

高校与科研院所：

用于物理、电子、材料等多个学科的教学实验与课题研究。

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