告别视觉盲区，天恒科仪定制款斜视高温探针台

传统垂直观察方式存在视觉盲区，难以准确判断探针与样品的接触状态；同时温度变化又会显著影响测量精度，导致数据可靠性下降。

天恒科仪定制款斜视高温探针台，这款创新产品通过独特的双显微镜视觉系统（垂直+倾斜）与精确温控技术完美结合，成功解决了高温环境下微米级测量的技术难题，为科研工作者提供了可靠的测试解决方案。

天恒科仪-斜视探针台

核心优势

高精度机械定位能力

同轴旋钮设计，实现X/Y方向100mm×100mm的大范围移动。

Z轴具备10mm行程，精度可达1微米，支持载物台±5°水平微调，有效保证探针与样品间的平稳接触，避免损伤微小器件。

双视角光学观测系统

集成两套高倍数显微镜，分别采用垂直和倾斜视角配置，彻底消除观测盲区。

0.8×–4.5×连续光学变倍配合高清CCD成像，可实现实时图像输出与记录，显著提高操作的准确性与可重复性

集成化温控模块

支持从常温至80°C的精确温度控制，水冷散热保障长时间高温测试的稳定性。

其25mm×25mm的加热区专为芯片级和小尺寸样品设计，适用于温变特性分析与可靠性测试。

多功能与高兼容性

搭配0.35μm定位精度，支持0~45°倾角调节，并配备射频探针臂和光纤接口，可扩展至高频及光电测试应用，满足多学科交叉测量需求。

基础参数

±5°调平机制：消除因样品倾斜导致的接触压力不均，保证测量数据的一致性。

水冷散热系统：采用闭环水冷设计，确保80℃高温条件下仍能保持±0.1℃的温度稳定性。

双视角协同观测：垂直视角提供全局定位，倾斜视角专攻接触点观测，配合4μm像素尺寸，确保能够清晰观察接触情况。

电磁兼容设计：射频接口采用屏蔽效能≥60dB的同轴连接器，在10GHz频率下插入损耗＜0.2dB，满足高频测试需求。

应用场景

半导体器件测试：

集成电路、晶体管的IV/CV特性测量；

微纳机电系统（MEMS）：

传感器、执行器的性能验证与可靠性分析；

新材料电学表征：

如石墨烯、二维材料、纳米线的导电性能研究；

射频与微波器件：

高频S参数测试与阻抗分析；

光电子器件：

光电探测器、激光器等器件的光电响应测试。

查看全文

作者最近更新