智测电子 超低温晶圆探针测试系统
在 5nm 及以下先进制程中，超低温晶圆探针测试是筛选缺陷芯片、控制封装成本的关键一环。然而 - 50℃以下的极端环境中，结霜干扰、温度漂移、针痕损伤等问题，往往成为测试精度的 “隐形杀手”。智测电子 TC-Wafer 超低温晶圆探针测试系统，以二十余年精密温控技术积淀，为半导体企业提供 “测得准、控得稳、适配强” 的全场景解决方案。
智测电子TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。
TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。
- 传输通道数量可定制;
- 优异的软件功能，可用图形及颜色显示温度分布状况;
- 数据可储存调用;
- 可提供温度曲线图，方便直观的看到温度变化趋势
- 真空环境下，温度传感器保持高精度和良好的稳定性TC-Wafer晶圆温度测量系统应用于许多行业，包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、ION 等应用注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺
专精特新实力，铸就国产替代标杆
作为成立于 2003 年的高新技术企业，智测电子以≤10mk 精度的核心技术打破进口垄断，其温控产品已广泛服务于半导体 Fab、PVD/CVD 等核心部门。从定制化方案设计到全生命周期技术支持，我们以 “每一度精准，都为良率护航” 的理念，助力半导体产业突破极端环境测试瓶颈。
当低温不再是障碍，精准即是竞争力。智测电子超低温晶圆探针测试系统，让每一片晶圆都经得起极限考验。
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