珠海迎来首条6英寸MEMS芯片生产线通线
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珠海迎来首条6英寸MEMS芯片生产线通线
1月15日，珠海金湾区三灶镇定家湾片区举行了云际芯光（珠海）微电子有限公司的MEMS芯片生产线通线仪式。这一里程碑事件标志着珠海市第一条6英寸MEMS芯片生产线正式投入运营。
该项目总投资超过2.5亿元，在短短约一年时间内完成了从建设到通线的全过程，刷新了行业在建设周期和通线速度方面的纪录，成功填补了珠海在MEMS芯片制造领域的空白。
作为集研发、中试与量产于一体的综合平台，该6英寸MEMS芯片产线配备了百级/千级洁净车间以及光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合等关键制造设备，具备完整的制造能力。其可实现SMR滤波器、石英晶振等核心产品的规模化量产。
成立于2023年11月的云际芯光，专注于压电MEMS芯片的设计、研发与制造，产品矩阵涵盖SMR滤波芯片、PMEMS声学传感器、高基频石英晶振以及高精度压力传感器。公司致力于打破国外在高端频率器件与传感器领域的长期技术垄断。截至目前，云际芯光已申报专利30余项，建立起覆盖设计、工艺、封装测试的全流程研发体系。
公司相关负责人指出，金湾区的产业布局与政策支持是企业选择落户的重要因素。作为粤港澳大湾区的关键节点，金湾近年来持续推进半导体产业体系建设，但MEMS制造环节此前仍存在空白。云际芯光的投产不仅为自身提供了坚实的产能基础，也与本地的设计、封装和应用企业形成联动，推动珠海建设更具竞争力的特色工艺半导体生态。
随着产线正式运行，云际芯光已与多家行业头部客户达成战略合作。其产品将广泛应用于5G/6G通信、卫星导航、汽车电子以及工业传感等关键领域。
展望未来，公司将继续加大在压电MEMS技术方面的研发投入，推动更多高性能国产芯片实现商业化落地，为我国半导体产业自主化与高端化进程注入新的“芯”动能，同时为珠海建设粤港澳大湾区半导体产业核心基地提供有力支撑。
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