PI 推出高带宽六足位移台,专为纳米级定位优化设计

不颓废科技青年 20260309

  • 压电陶瓷驱动
为满足工业对可靠性、精度和高动态性能的需求,PI开发出一款紧 凑型直接驱动六自由度六足位移台,采用杠杆式促动器设计,有效 降低系统复杂性、提升性能并减少磨损。

PI 推出高带宽六足位移台,专为纳米级定位优化设计

PI(Physik Instrumente)近日推出一款创新的六足位移平台,专为纳米级精度与高带宽要求的定位应用而开发。该平台采用先进的多自由度驱动结构,适用于科研、半导体制造以及精密光学系统等领域。

这款新型六足位移台在设计上突破了传统三足或四足平台的运动自由度限制,能够实现x、y、z轴以及绕这三个轴的旋转运动(Rx、Ry、Rz),从而提供完整的六自由度定位能力。其高动态响应和低延迟特性,使其特别适用于需要快速、高精度调整的工业自动化与科研实验场景。

该平台采用了压电陶瓷驱动器(Piezoelectric Actuators)和柔性铰链结构(Flexure Hinges),结合闭环控制算法,确保了纳米级的定位稳定性与重复性。同时,其模块化设计允许用户根据具体应用需求进行定制,以实现更高的系统集成性与适应性。

在实际应用中,该六足位移台已被广泛用于光子学器件对准、微机电系统(MEMS)测试、扫描探针显微镜(SPM)以及高精度光学干涉仪等领域。其紧凑的体积与低振动输出,使其成为高端精密定位系统的理想选择。

PI 一直致力于推动精密运动控制技术的发展,此次推出的六足位移平台再次展示了其在纳米定位技术方面的领先地位。随着智能制造与自动化系统对定位精度与速度要求的不断提升,此类高动态、多功能的定位平台将发挥越来越重要的作用。

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