中微公司并购杭州众硅，强化湿法工艺布局

3月30日，中微公司发布晚间公告，宣布计划通过发行股份并支付现金的方式，收购由杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠及杭州众诚芯等41家机构及个人持有的杭州众硅64.69%股权。根据评估结果，本次收购总金额约为15.76亿元。

为支持本次并购，中微公司同步筹划不超过15亿元的配套融资，资金将主要用于高端半导体设备的产业化推进、研发中心建设、现金对价支付、中介费用覆盖以及流动资金补充。

资料显示，杭州众硅是一家专注于化学机械平坦化抛光（CMP）设备研发、制造与销售的企业，其产品属于湿法工艺中的关键设备之一。公司为客户提供完整的CMP设备解决方案，是国内为数不多掌握12英寸高端CMP设备核心技术并实现批量供货的企业。

此次并购完成后，中微公司将在前道工艺中集“刻蚀+薄膜沉积+量测检测+湿法”四大核心能力于一身，实现从前端“干法”设备向“干法+湿法”整体解决方案的全面升级。此举填补了中微在湿法设备领域的技术与产品空白，同时强化了其在先进制程中提供系统级集成能力。

中微公司希望通过“平台化”策略，为客户提供高度协同的成套设备组合，显著缩短工艺调试与验证周期。这种集成方案不仅提升了客户粘性，也助力公司加快在主流晶圆厂的市场渗透。

公司表示，此次并购将带来明显的战略协同效应，标志着中微向“集团化+平台化”发展迈出重要一步。这一举措契合公司既定的战略规划，即通过内生研发与外延并购双轮驱动，持续扩展在集成电路领域的覆盖面，为客户提供更具竞争优势的全流程工艺解决方案。预计该交易将逐步提升公司整体盈利能力，并有助于每股收益的增长。

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