中微公司收购杭州众硅，强化湿法设备布局

3月30日晚间，中微公司发布公告，披露计划通过发行股份并支付现金的方式，收购杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名股东持有的杭州众硅共计64.69%的股权。依据评估结果，此次交易对价约为15.76亿元。

与此同时，公司宣布拟募集不超过15亿元的配套资金，资金用途涵盖高端半导体设备的产业化建设、研发中心的设立、支付交易中的现金对价及中介机构费用，以及补充日常运营所需的流动资金。

公告指出，杭州众硅的核心业务聚焦于化学机械平坦化（CMP）设备的自主研发、制造与销售，该设备属于湿法工艺中的关键环节。作为国内少数掌握12英寸高端CMP核心技术并实现量产的企业之一，杭州众硅具备提供CMP设备整体解决方案的能力。

此次并购完成后，中微公司将具备“刻蚀+薄膜沉积+量测检测+湿法”四大前道核心工艺设备能力，实现从“干法”向“干法+湿法”综合解决方案的战略升级。此举填补了其在湿法设备领域的能力空白，同时大幅提升了公司在先进制程中为客户提供端到端系统级方案的竞争力。

通过平台化整合，中微公司旨在打造更高效、更协同的成套设备解决方案体系，缩短客户工艺调试与验证周期，提升客户黏性，并加快在主流产线的渗透率提升。

中微公司强调，此次交易将形成显著的战略协同效应，标志着企业向“集团化”和“平台化”运营迈出关键一步。此举符合公司结合内生增长与外延并购的发展路径，持续拓展集成电路全产业链覆盖范围，为客户提供更具竞争力的全流程工艺设备组合。交易完成后，公司的盈利能力有望稳步提升，并对每股收益产生积极影响。

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