上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题
传感洞见
上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题
近日，上海人工智能实验室携手厦门大学、苏州国家实验室等合作伙伴，依托“书生”科学大模型与“书生”科学发现平台，成功构建起“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，攻克了KrF光刻胶树脂在高纯度、高一致性与高效率方面的稳定制备难题。
该成果标志着高端光刻胶树脂的生产不再高度依赖少数国外厂商的“黑箱技术”，为全球半导体材料产业提供了可标准化、具备快速迭代能力的新型研发路径。这一进展有望提升国内在芯片制造核心材料领域的自主可控水平。
目前，该平台已推动多批次的自动化合成与性能评估，各批次之间的产品一致性显著提高。其中，厦门恒坤新材料科技股份有限公司凭借其在光刻胶配方开发方面的经验，完成了树脂适配工作，关键产业指标均达到预期目标。下一步，相关产品将进入客户端验证阶段，为后续规模化应用打下坚实基础。
查看全文
评论0条评论