schönbuch技术 | 半导体设备微振动测量

讯巴赫 20260515

  • 加速度传感器
  • 半导体设备
schönbuch技术 | 半导体设备微振动测量

传感专家

振动本质上是结构在外力作用下的动态响应，其核心物理量包括：位移 x(t)、速度 v(t)、加速度 a(t)。三者之间的关系：

传感专家

关键点：

  • 加速度直接反映振动激励（力）本身。
  • 微小振动具有高频、小位移的特点，位移量级仅为纳米至微米级。由于位移幅值极小、直接测量难度大，通常需要通过积分换算求解：由加速度一次积分得到速度，再进行二次积分，最终换算得出位移。
  • 但低频积分误差不可避免（漂移问题）。可以通过频域积分，选择合适低频截止频率，去趋势处理、带通滤波等方式来减少误差。

传感专家

讯巴赫ATD210系列加速度传感器:

  • 振动范围可选：±2g/±4g/±8g/±16g；
  • 频率范围：0...4000Hz(加速度)，10...1000Hz(速度/位移)；
  • 最高采样速率：32KHz；
  • 输出：RS485；
  • 同时检测温度；


应用：

     在先进半导体制造过程中，设备性能的极限，往往不取决于结构设计本身，而取决于一个“看不见却无处不在”的因素——微振动。从键合设备到精密运动平台，从检测系统到高端光学设备，微振动都会直接影响加工精度、对位精度、良率稳定性等。如何准确测量、科学评价并有效控制振动，成为设备研发与优化的关键环节。



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