安徽北方微电子研究院实现高端光通信芯片制造工艺新突破

传感洞见 20260522

  • MEMS-OCS阵列微镜芯片
  • 光通信芯片
  • 晶圆级一体化制造

安徽北方微电子研究院实现高端光通信芯片制造工艺新突破

蚌埠经开区管委会官方消息显示，近日，安徽北方微电子研究院集团有限公司在MEMS-OCS阵列微镜芯片的微纳工艺集成制造方面取得关键性突破，成功解决多项技术瓶颈，标志着我国在高端光通信核心芯片领域迈出了国产化替代的重要一步。

据披露，此次研发重点聚焦于256端口与1024端口阵列微镜芯片的制造需求，攻克了包括微纳结构精密刻蚀、低应力薄膜沉积、高深宽比结构成形、高精度对准键合、高反射率镜面制备以及晶圆级一体化制造在内的多项核心工艺难题。在此基础上，研究院建立了完整、自主的工艺体系，为后续量产打下了坚实基础。

该工艺所制备的MEMS-OCS阵列微镜芯片表现出多项性能优势，包括响应速度高、偏转精度好、插入损耗小、通道隔离度强以及长期运行稳定性佳等。其优异的性能使其可广泛适用于OCS光电路交换、ROADM可重构光分插复用、数据中心全光交换以及光路保护倒换等多种高端光通信应用场景。

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