上海精测迎来第100台电子束量检测设备出货

感知世界 20260729

  • 电子束量检测设备

上海精测迎来第100台电子束量检测设备出货

2024年7月27日，上海精测半导体技术有限公司迎来了其第100台电子束量检测设备的正式出货。这一里程碑标志着公司在高端半导体检测设备领域迈出了坚实一步。

在半导体前道制造流程中，高端电子束量检测设备扮演着至关重要的角色。长期以来，该类设备的核心技术与市场主要由国外企业主导。面对这一挑战，精测电子的研发团队聚焦于多个关键技术方向，包括高分辨率电子光学系统的设计与制造、智能量检测与缺陷分类算法的开发，以及高速高精度系统控制技术的优化。经过多年的持续研发与技术迭代，公司成功攻克了多项技术难题，实现了设备核心部件的100%自主研发与生产，填补了国内在该领域的多项技术空白。

随着第100台设备的顺利交付，上海精测完成了从技术研发、产品落地、市场验证到规模化量产的完整发展路径。目前，其产品线已全面覆盖电子束晶圆缺陷检测与复查、关键尺寸测量、聚焦离子束分析以及智能缺陷分类等芯片前道制造的关键应用场景。这些设备能够适配逻辑芯片、存储芯片及功率半导体等多种芯片的制程需求，并已批量进入国内主流晶圆厂，广泛应用于产业一线。

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