布鲁克发布两款创新扫描电镜探测器，推动材料微观分析技术发展
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布鲁克发布两款创新扫描电镜探测器，推动材料微观分析技术发展
2026年8月3日，在显微镜与微分析大会（Microscopy & Microanalysis, M&M 2026）上，布鲁克（Bruker）宣布推出两款新型扫描电镜探测器产品，分别为：基于透射菊池衍射（Transmission Kikuchi Diffraction, TKD）技术的eWARP™ TKD探测器，以及升级版环形能谱探测器XFlash® FlatQUAD™ 2L。后者支持能量色散X射线光谱（EDS）与背散射电子（BSE）信号的同步采集。
这两项技术突破通过融合高速数据采集、高灵敏度、高空间分辨率以及多模态分析能力，显著提升了扫描电子显微镜（SEM）在材料表征中的性能，为半导体、薄膜材料、纳米结构合金等复杂材料的研究提供了更强大的分析工具。
新一代eWARP™ TKD探测器：提升纳米尺度晶体学分析效率
基于布鲁克独有的eWARP技术，eWARP™ TKD将直接电子探测（Direct Electron Detection, DED）与大面积像素化（Wide ARea Pixelated, WARP）传感器技术引入TKD分析领域。该探测器配备162×162像素的传感器阵列，有效探测面积达26×26 mm²，最高采集速率达5700帧/秒，显著提升了数据获取效率与质量。
凭借高灵敏度与超快读出能力，eWARP™ TKD的衍射数据采集速度较传统TKD提高了约十倍。结合先进的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），该系统可实现低于2 nm的空间分辨率，适用于半导体器件、薄膜、二维材料、能源材料及纳米结构合金等样品的大面积高精度表征。
此外，布鲁克专利的片上合并（on-chip binning）技术，使系统能够以高速生成类似暗场（Dark-Field）和明场（Bright-Field）的成像模式，为材料微观结构分析提供互补信息，并支持在原位实验中实时监测材料演变。
XFlash® FlatQUAD™ 2L：实现EDS与BSE同步采集
全新推出的XFlash® FlatQUAD™ 2L探测器进一步优化了EDS分析效率，并实现了与BSE成像的同步采集。该探测器采用布鲁克独有的环形四分区硅漂移探测器（annular four-segment Silicon Drift Detector, SDD）设计，安装于SEM极靴与样品之间，可同时获取元素组成信息与形貌衬度数据。
通过同步采集EDS与BSE信号，XFlash® FlatQUAD™ 2L显著加快了材料表征流程，减少了对敏感样品的电子束暴露时间，并提供了高度配准的多模态数据。这一功能在分析非均质材料、多相材料、半导体器件、电池电极、纳米颗粒、生物样品及聚焦离子束（FIB）制备的薄片时尤为关键，有助于快速识别元素分布、界面结构、污染物、涂层、缺陷及材料退化机制。
布鲁克电子背散射衍射（EBSD）高级产品经理Daniel Goran指出：“eWARP TKD代表了扫描电镜领域在定量纳米尺度表征方面的重要进展。通过将直接电子探测技术与轴向TKD技术相结合，该探测器为研究人员提供了更快速、更广泛、更可靠的纳米结构材料分析能力。”
布鲁克EDS/SEM高级产品经理Andi Kaeppel表示：“XFlash® FlatQUAD™ 2L正在重新定义SEM数据采集的方式。通过同步获取高度关联的EDS与BSE信息，研究人员能够更全面地理解复杂材料体系，同时简化分析流程并提升整体效率。”
这两款探测器的发布进一步巩固了布鲁克在扫描电镜探测器研发领域的技术优势，为材料科学、半导体制造及先进器件研究提供了关键的技术支持。
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