schönbuch应用 |讯巴赫Leak-SC系列电容式漏液传感器在化学品供应系统 CDS中的应用

讯巴赫 20261013

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CDS（Central Chemical Dispense System，中央化学品供应系统，半导体 / 光伏行业为主）负责集中输送强酸、强碱、TMAH、有机溶剂、高纯药液到湿法机台；介质大多具有腐蚀、毒性、易燃特性，漏液传感器是 CDS 安全联锁的核心部件，用于早期微量泄漏探测，防止化学品腐蚀设备、污染洁净车间、引发人员伤害与火灾爆炸风险。

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在先进制程Fab里，化学品已经不适合依靠人工桶装搬运和机台旁倒液。SIA关于半导体化学品管理的公开资料指出，新建Fab通常采用全封闭制程、自动化和化学品输送系统，把人员与工艺过程隔离；常用化学品通过远端自动化CDS/BCDS供应，可减少人工倾倒带来的暴露风险。(Semiconductor Industry Association) SEMI F31也明确把BCDS定义为用于半导体制造设施、向晶圆制造过程供应液体化学品的大宗化学品分配系统。

CDS 系统内安装点位（核心布置区域）

CDS 采用集液盘 + 双套管的二级泄漏收集，传感器全部布置在收集侧，不直接接触工艺管路内药液：

1. 化学品桶柜（20L/200L 原液桶区域）：桶下方 PP/PFA 集液盘底部，放置点式漏液探头；桶更换时溢流、桶破损泄漏检测。

2. 泵箱、阀歧管箱 VMB：隔膜泵、调压阀、PFA 接头下方集液槽，是泄漏高发点；多采用点探头。

3. 双套管输送管路：内管 PFA 输送药液，外层透明保护套管；内管一旦渗漏，药液流入夹层，沿夹层流到低位集液盒，盒内安装传感器；长距离管路可用**漏液感应绳**沿套管敷设，实现分段定位泄漏点。

4. 过滤器单元、缓冲罐、取样阀底部集液盘。

5. CDS 机柜底部整体围堰：作为最后一道兜底检测。

安装要点：传感器安装在集液最低点，保证微量液体即可接触探头；线缆必须 PTFE 防腐护套，远离腐蚀性挥发气体。

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