光刻机巨头ASML在无锡建厂,能否推动我国光刻机的生产与研发?

刘小飞 20200518

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  • 光刻机
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无锡高新区管委会与阿斯麦(ASML)公司正式签署了战略合作协议,后者将在原有基础上对资源进行整合提升,加速扩建光刻设备技术服务(无锡)基地。

  近日消息,无锡高新区管委会与阿斯麦(ASML)公司正式签署了战略合作协议,后者将在原有基础上对资源进行整合提升,加速扩建光刻设备技术服务(无锡)基地。

  此次ASML在无锡建厂,或许大部分人会以为是为了生产光刻机,这样我们国家就可以在国内生产世界上最先进的光刻机了,这就避免了从荷兰进口,被荷兰政府限制的情况出现了。但稍微令人失望的是,ASML在无锡的工厂却不是生产光刻机的,而是主要有两方面的其他目的。

  一是建立技术研发升级团队。实际是一个面积约2000余平米,拥有近200人规模专业团队的技术中心,从事光刻设备的维护、升级等技术服务;二是服务和维护团队。以及面积约2000余平米的供应链服务中心,为客户提供高效的供应链服务,为设备安装,升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持。

  从以上ASML在无锡工厂的建设内容可以看出,这其实根本就不是一个生产基地,而是一个售后服务基地,也就是将设备卖给中国之后,由无锡这个团队进行设备的安装以及设备商的维护保养,这其实就是ASML设立的一个售后服务中心,最关键最核心的技术在这里找不到。那么此次在无锡扩建,其实就是把之前的售后服务中心进行规模上的扩大而已,对于我国光刻机的研发与生产,起不到实质性的推动作用。

  至于ASML选择在无锡建立设备技术的服务中心,可能与中国是世界上最大的芯片消费国的身份密不可分。并且,中国的芯片制造商中芯国际以及紫光集团都是中国芯片制造的中流砥柱,对基地的升级无非是要更好地服务他们。同时,无锡的高新区园区里有国内及国外的多家半导体公司,国内的华虹、韩国的SK海力士都在无锡建设了多座晶圆厂,2019年集成电路产值超过860亿,占无锡市集成电路产值的四分之三。

  据了解,ASML公司是全球技术水平最高、影响力最大的光刻设备供应商之一。在光刻机领域,荷兰ASML目前是全球最先进的,7nm以下制程所需的EUV光刻机更是他们独家供应,单台售价超过1.2亿欧元,约合10亿元一台,是制造CPU、GPU等芯片的核心设备。

  此次ASML在无锡高新区建立的光刻设备技术服务基地,为集成电路重点厂商提供技术和供应链支持,项目的实施,将有助于进一步推动无锡高新区集成电路产业的强链、补链和延链,提升业内影响力,为无锡高新区实现集成电路产业总部化、高端化发展做出贡献。

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