万业企业旗下多款刻蚀设备成功中标上海积塔特色工艺项目

大半导体产业网 20220804

  • 半导体制造
  • 刻蚀设备

8月2日，据中国国际招标网显示，万业企业旗下嘉芯闳扬公司和嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目10台刻蚀设备。其中嘉芯闳扬公司中标1台金属等离子刻蚀机、4台氮化硅等离子刻蚀机；嘉芯迦能公司中标2台金属等离子刻蚀机和3台侧墙等离子刻蚀机。

近期万业企业旗下快速热处理设备（RTP）、薄膜沉积设备、刻蚀设备已相继成功跻身上海积塔特色工艺产线。

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