上海麦锴科技有限公司 (MExpert) 孵化自中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室。麦锴科技拥有MEMS压电微镜的自主设计、制造工艺与封装测试等全套核心技术，致力于为全球合作伙伴提供高端传感器产品及定制化解决方案。

自主原创设计

压电驱动式双轴大尺寸高频MEMS微镜

融合多道核心MEMS制造工艺，保留了MEMS微镜高集成度、低成本优势，性能可靠性。

聚焦新型应用场景

提供新一代的产品解决方案

空间激光通信、激光雷达扫描、VR/AR眼镜等领域，通过自主设计研发出多款MEMS光学微镜器件与模组。

团队实力

具有丰富的产品研发与量产经验

创始团队毕业于德国、美国及国内一流高校，具有国内外大厂十几年的工作经验。

麦锴文化

使命

基于核心自研技术，开创传感器新世界

愿景

成为国际领先的高端微机电系统（MEMS）技术专家

价值观

专业铸造价值，专注成就未来

发展历程

2024  申报成功科技型中小企业;成为微系统所协同创新联合体企业

2023  正式成立商业公司专错科技;完成第一轮天使轮融资

2022  研制成功首款面向空间通讯的决反镜产品MMS225

2021  承担国家重点研发计划及上海市重点专项研究任务

2018  与微系统所开展MEMS核心技术研究

主要产品

MEMS快速反射镜

MMS223，MMS225，MMS228

MEMS扫描振镜

MMR123-AC，MMR224-AC

MEMS投影振镜

MMR121-AC，MMR121-BC

系统模组

驱动板，主控板，跟瞄系统

定制开发

如若对产品定制需求，请联系我们。

应用领域

激光通信

空间激光通信的稳定基石

麦锴公司凭借自主研发的、国际领先的MEMS快反镜技术，为我国空间激光通信网络的建设提供了坚实的支撑。这款高性能的MEMS快反镜，具备小型化、轻量化、低功耗、高精度和快速响应等卓越特性，成为了实现远距离稳定激光通信链路的首选方案。

无论是在深邃的宇宙空间，还是在复杂多变的陆海空环境中，麦锴的MEMS快反镜都能确保激光通信链路的稳定、高效和可靠。它以其卓越的性能，助力我国在全球通信领域取得领先地位。

卫星激光通信

MEMS快反镜225系列在卫星间或卫星与地面基站间的激光通信中发挥着关键作用，其优化性能使得激光通信链路能够实现超远距离、超高精度的稳定连接。

机载激光通信

MEMS快反镜223系列以其轻便、小巧的特点，在飞行器、车辆等激光通信应用中表现卓越。它不仅能有效减轻载荷，节省能源，还能迅速搜寻地面和空中目标，构建稳定安全的激光通信链路。

舰船激光通信

随着海上电子战的演变，传统的通信方式在安全性与可靠性上受到了严峻挑战。在此背景下，MEMS快反镜配合激光通信终端为舰船通信提供更为安全和稳定的激光通信方案。

激光雷达

赋能激光雷达

麦锴的大角度MEMS振镜在激光雷达（Lidar）应用领域展现出了独特的优势。其体积小、速度快、角度大、功耗低和精度高等优点，使其成为Lidar系统提升性能和降低成本的理想选择，实现了更快速、更准确的数据采集和点云图像的生成，为无人驾驶、环境监测、地图绘制等领域的应用提供了崭新的解决方案。

智慧工业

工业自动化和智慧物流是应用激光雷达最多的行业之一，随着生产力的提高和降本增效的需求，工业企业设立自动化生产线和打造智能化生产车间的趋势愈发明显，同时后续的仓储物流领域也越来越多趋向于无人化和智能化，通过MEMS大转角微镜方式实现的激光雷达可以做到覆盖范围广、重量轻、功耗低、高可靠等作用。

车载激光雷达

汽车高级辅助驾驶系统(ADAS)以比人反应更快的探测传感技术，提升车辆智能化水平，提高用户体验，避免碰撞，大幅减少道路事故和相关伤亡。MEMS大转角微镜可在车辆智能化中的激光雷达、AR HUD、智能大灯等多方面发挥核心价值，也因为其重量轻、功耗低、体积小极具发展潜力。

机器视觉

MEMS传感器解决了低功耗、微型化、高集成化与智能化需求的矛盾，所以在智能机器人领域有着无可比拟的应用优势。MEMS微镜可以通过高频的扫描探测方式帮助机器人感知外部环境，让机器人更智能。

激光投影

麦锴高频MEMS微振镜具备频率高、功耗低、体积小、重量轻等优势，基于李萨如扫描方式可以实现720P以上的显示分辨率，可以在轻量级AR、VR、MR或者是微型投影仪上发挥关键部件的作用，是未来激光投影的主要技术路线之一。

激光投影

激光投影以其高亮度、长寿命、节能环保、色彩准确、迅速启动、投影距离灵活和智能化操作等优势，为用户带来了全新的视觉体验，并在娱乐、教育、商业等多个领域展现出广泛的应用前景。高频率的MEMS振镜为激光投影带来了低成本、高品质的成像效果。

AR/VR/MR

LBS（Laser Beam Scanning，激光束扫描）方案凭借其小巧轻便、低功耗和结构简单的优势，在头显产品中得到了广泛应用。而MEMS微振镜作为该系统的核心组件，发挥着关键的作用，为实现高质量的图像显示提供了创新方案。

AR HUD

随着汽车行业的持续发展，人们对车载抬头显示器（HUD）的成像质量提出了更高的要求。在这一背景下，基于MEMS微振镜的激光扫描投影（LBS）方案，因其激光的高亮度、色域广、投影距离灵活等优势，为高品质HUD成像提供了理想选择。

科学研究

MEMS压电微镜和快反镜在众多科学研究领域中有着广泛的应用，它们在不同的领域发挥着关键作用。

精密测量与计量

MEMS压电快反镜和很多传统仪器结合后，不仅实现了测量设备的小型化和便携化，还提供了快速、准确的测量解决方案。例如，快反镜与相机的完美结合，催生了先进的3D计量方案，满足了高精度加工和检测的需求；同时，在生物研究领域，快反镜也可以助力单点探测系统，实现细胞等微观结构的高分辨率成像。

光学系统校准与测试

快反镜在光学系统的校准和测试过程中同样扮演着重要角色。它能够实时调整光路，实现自聚焦和光路抗扰动等功能，确保光学系统的稳定性和准确性。这对于提高光学仪器的性能、降低误差具有重要意义。

跟踪瞄准

在目标跟踪和瞄准系统中，通过精确控制光路，快反镜能够确保系统始终指向被探测或被激发的目标，实现快速、准确的跟踪和瞄准。这一特性在军事、航空航天、工业自动化等多个研究领域具有广泛的应用前景。

核心技术

多项核心技术突破

麦锴公司凭借自主研发的、国际领先的MEMS快反镜技术，为我国空间激光通信网络的建设提供了坚实的支撑

专业自主的MEMS结构设计

镜面尺寸1~15mm，谐振频率0.1~30 kHz

独特的双层堆叠MEMS架构，结合高效能隐藏式压电致动器协同设计，构筑高频高占空比的大口径微镜产品。

独有的面型修调技术

RMS面型≤20 nm@10mm

晶圆级纳米尺度面型修调工艺，与多层复合薄膜应力控制技术相结合，开拓高径厚比MEMS镜面的高面型精度制备方法。

先进的压电驱动技术

重复精度≤2 μrad@3σ，开环线性度≥99.9%，开环控制带宽≥2 kHz

先进的准单晶高掺杂压电功能薄膜致动技术，协同二阶上电驱动算法，实现准静态模式下的高精度低延迟定位。

高可靠协同设计

200余亿次全量程加速寿命实验无衰减

高稳定性单晶硅衬底，结合抗冲击MEMS结构设计，以及高可靠性封装，确保宇航级寿命及可靠性。

生产完全自主可控

麦锴MEMS产品设计源于传感技术国家重点实验室原创专利技术；生产依托国内领先、国际先进的8英寸MEMS量产平台，完成ISO9001/14001/45001体系认证；封装、测试依托高标准自主产线；产品已通过多项权威机构测试，是国内真正技术先进、自主可控的原创MEMS压电微镜产品。

领先研发平台

基于国内领先、国际先进的MEMS研发平台

重点实验室原创技术

依托中科院创新体系及国家重点实验室原创技术

传感器技术平台

集芯片加工、封装、测试完整能力于一体的传感器技术平台

产品可靠性

麦锴MEMS快反镜具有宇航级可靠性

通过多项试验证明麦锴MEMS快反镜具有宇航级可靠性

力学试验

高可靠性MEMS器件结构设计，结合抗冲击器件封装技术实现了MMS225系列快速反射镜的高力学可靠性，满足宇航级应用需求。

寿命试验

MEMS快速反射镜已完成连续4百余天、偏转两百余亿次的加速循环寿命试验，器件各项指标无衰减，满足宇航级在轨工作寿命指标。

辐照试验

MEMS快速反射镜完成了100 krad剂量的存储辐照以及30 krad剂量的上电辐照测试，辐照前后工作性能保持稳定，满足不同轨道高度的使用需求。

温度试验

硅基器件及压电驱动材料带来优异的温度稳定性，MEMS微镜在-40~+120范围内谐振频率、转角范围、偏转精度等关键参数具有全温区稳定性。

通过全量程加速循环寿命试验

415天、200亿次试验满足在轨寿命需求

常见问题

微振镜

微振镜相关问题

什么是MEMS工艺？

MEMS（Microelectromechanical Systems，微机电系统）工艺是一种在纳米至毫米尺度范围内制造微结构的加工技术。它起源于半导体和微电子工艺，结合了光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装等多种现代加工技术来制造复杂三维形体的微加工技术，本质是将机械系统微型化。MEMS工艺不仅广泛应用于微器件的制造，还推动了微型化、集成化和智能化技术的发展，为众多领域带来了革命性的变化。

麦锴的MEMS微镜工作方式有哪些？

从工作方式上来看，麦锴的MEMS微镜有准静态和谐振态两类。

准静态工作模式下，镜面的控制方式相对更自由，可以实现一定频率内任意角度下任意时间的静止，配合不同波段的激光，可应用于激光通信、矢量扫描成像、空间光调制等。

谐振态工作模式下，镜面可以获得更大的偏转角度范围，和快速的扫描频率（数值约为MEMS振镜的谐振频率）。振镜在谐振态工作模式下调整一些控制信号参数，可以得到李萨如图形。常用于大角度快速激光扫描的投影、成像等领域。

微镜主要有哪些主要的性能指标？

微镜的主要性能指标为：镜面直径、谐振频率、机械转角。

麦锴推出的压电MEMS微镜与其他MEMS微镜有什么区别？

与市面上的静电和电磁MEMS微镜相比，麦锴的压电MEMS微镜是基于新型压电薄膜技术产生的高频大角度振动器件，产品具有角度大、高可靠，不易疲劳，不易受电磁干扰、稳定性强等高可靠特性。

快反镜

快反镜（FSM）相关问题

什么是快反镜？

快速反射镜（FSM：Fast steering Mirror ），主要功能是通过精确控制反射镜面的方向，来调整光束的方向。快反镜具有惯性小、易于安装和控制、响应速度快以及定位精度高的优点，广泛应用于天文望远镜、空间激光通讯、精瞄准等光学系统中。

麦锴的快反镜共有几种尺寸？

麦锴的快反镜从直径上分，有5mm，8mm，10mm，15mm几种。

相比传统的快反镜，MEMS的快反镜主要优势有哪些？

MEMS的快反镜体积小，重量轻，功耗低，线性度高，没有迟滞和蠕变效应。

快反镜的面型主要指标为什么？

面型的主要衡量指标通常用PV值和RMS值来表示。快反镜的面型在远距离激光通信领域要求比较高，一般要求RMS值为通信波长的数十分之一。

MEMS快反镜的寿命如何？

目前MEMS的微镜已经进行了200余亿次的全量程寿命试验，没有明显衰减。

麦锴压电MEMS快反镜与其他传统快反镜有什么区别？

市面上目前的快反镜多使用压电陶瓷和音圈电机的技术路线。与这些传统快反镜产品相比，麦锴压电MEMS快反镜的体积为传统快反镜的1/8，重量为1/18，功耗为1/12，对于在激光通信卫星上的应用，可以显著减少卫星发射成本和运行功耗，具有显著优势。

驱动器

如何驱动麦锴快反镜

如何驱动快反镜？

快反镜产品是压电致动的产品，特点为低电流大电压。需要配备升压电路将电源提升到120V左右，同时使用高压放大电路进行驱动，推荐使用的高压运放有：OPA462，ADHV4702等。由于电源类型（正负电源/单端电源）的不同，推荐使用三种不同的连接结构。

注：驱动方式三仅能够提供VDD/2的电压动态范围。

如果无法提供正负电压，该如何驱动快反镜?

请在申请样品时特别说明可提供的正电压范围，麦错将为您调整线序以使得快反镜工作在正电压量程。