上海微芸半导体科技有限公司研发团队成员均来自于世界知名半导体设备厂商，利用他们过去在12寸半导体设备研发上的经验，致力于为市场提供更高性能，更贴近客户需求的量产设备。目前的产品主要应用于化合物半导体，mems，功率器件等领域。