昆山睿盛斯智能装备有限公司，主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。针对逻辑、存储、功率器件、光学、微显示等领域的关键工艺道次，研发了一系列等离子体刻蚀系统、薄膜沉积系统，为客户提升产能、优化工艺提供稳定可靠的设备与完善的技术支持。产品涵盖：等离子刻蚀（Etch）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、氧化/扩散、清洗、灰化等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域.公司携手国内顶级科研院所，研发机构、汇集各类尖端人才立志发展民族工业品牌。坚守持续创新的宗旨，睿盛斯智能装备通过不懈努力和过硬的产品品质，以及专业优质 的服务，已经赢得国内外各大用户的一致认可。