山东产研微纳与智能制造研究院有限公司

山东产研院硅基微纳制造公共技术服务平台（中试线）- 4&6英寸

2023年5月，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通，实现具备完整MEMS生产加工能力，其自主生产的首款产品正式下线并交付。

微纳制造平台建设总投资2亿元，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证。平台总面积5500平方米，洁净间面积约1800平方米，包括光刻区、刻蚀区、湿法区、高温区、注入区、金属化区、划片区、封装区、测试区等9大功能区，配置光刻、键合、扩散、腐蚀、刻蚀、沉积、注入、封装、测试等相关设备90余台，可实现MEMS芯片生产全过程。

山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆，MEMS晶圆尺寸为4&6英寸。