深圳技术大学半导体微纳加工中心 是集产、学、研于一体的加工平台，作为广东省深圳市的公共服务平台，深技大微纳加工平台既为大学和科研院所的科学研究提供服务，也为企业技术研发和中试提供全方位的开放服务，包括以下开放模式：1. 设备资源开放：所有设备对高校、科研院所及企业开放。申请人通过申请可选择，经平台工程师培训获得上岗资格后独立使用平台设备，或由平台工程师代工。2. 技术开放：微纳加工中心可以提供全方位的技术支持，以促进微纳加工技术进步，降低使用者的技术研发成本。

半导体微纳加⼯中⼼拥有超2000平⽅⽶的超净室，⼯艺线主要设备超过120台(套)，具备专业技术过硬的研发、⼯艺和设备⼯程师团队。微纳加⼯中⼼拥有化合物光电器件的全套⼯艺加⼯能⼒，如GaAs和InP基VCSEL、DFB等，兼具部分第三代半导体（如GaN、SiC）和硅基MEMS器件加⼯能⼒。微纳加⼯中⼼⽀持最⼩到8nm制程的⼯艺研发，以及350nm及以上制程的化合物光电器件中试验证。平台设⽴专⽤产业化区和拓展区，强化服务企业产品研发和⼩量试产功能，以及国产半导体材料及装备验证。

平台特色

平台服务，光刻工艺设备和键合工艺设备，薄膜工艺设备，离子注入/退火设备和干法刻蚀工艺设备，湿法刻蚀工艺和后道工艺设备，测量表征设备，外延工艺设备，微纳加工中心工艺模块