海创智能装备(烟台)有限公司 (以下简称“海创智能”)成立于2017年9月,总投资10亿元,注册资本8000万元,是目前山东地区集研发、生产为一体的领先的高端工艺装备企业。秉承“海纳百川,创新未来”的信念,致力于打造专业化、规模化、技术领先的半导体装备技术服务平台,成为半导体装备领军企业。
海创智能在北京、山东、深圳、沈阳及韩国等地设有6个研发中心,并与世界知名MEMS芯片制造公司建立战略合作,依托国际化技术团队,致力于创造一流的半导体装备国产化基地。
海创智能主营设备服务于全球的功率器件Power Device、微机电系统MEMS、先进封装Advanced Packaging、化合物半导体III-V、射频RF、集成电路IC等客户,设备具备优异的重复性和稳定性、低故障率、长使用寿命、易操作维修,得到客户的广泛认可。
海创园 海创园方案由德国FTA(上海)设计,总投资约2亿元,占地1.6万平方米,建筑面积5.3万平方米,精心打造全新理念的创新创业微社区。
科创园 科创园总投资约3亿元,占地5.4万平方米,规划建筑面积5.7万平方米,建设7栋厂房、1栋职工活动中心等设施。
主要产品
永久键合设备Bonder、临时键合/解键合设备Debonder、物理气相沉积设备PVD、等离子增强化学气相沉积设备PEVCD、涂胶显影设备Coater-developer、刻蚀机Etcher、半导体检测X-RAY等