北京至格科技有限公司 是专注于AR衍射光波导、衍射光栅和微纳光学领域的国家高新技术企业。公司核心团队包括教育部长江学者、国家杰出青年基金获得者以及前上市公司管理层和业务骨干。致力于AR衍射光波导、衍射光栅和微纳光学元件的研发、生产和销售。

至格采用IDM模式，自主掌握“光栅设计、光栅母版加工、纳米压印生产”三大核心技术，拥有功能完备的光栅母版加工中心和全自动AR衍射光波导批量生产线，成功研发并量产增强现实衍射光波导产品，实现了高品质的性能指标和显示效果。在此基础上，至格已具备C端客户的量产交付经验，可以为客户提供从设计、制版到材料和工艺的一站式解决方案，以及快速、稳定、可靠、低成本的衍射光波导量产交付方案。

公司优势

自主掌握光栅产业链三大核心技术

光栅设计：拥有具有自主知识产权的针对不同类型光栅的全套计算软件

光栅母版加工：掌握基于全息光刻和离子束刻蚀的完整的光栅母版加工工艺，建有功能完备的光栅母版加工中心

纳米压印生产：掌握整套纳米压印批量生产工艺和材料技术，建有AR衍射光波导全自动批量生产线

核心技术

基于严格电磁场理论的光栅设计方法

光栅作为一种具有周期性纳米结构的衍射光学元件，其衍射特性需要基于严格的电磁学理论进行计算，通过求解麦克斯韦方程分析各种光栅的光学特性。至格科技基于严格的光栅电磁场理论，通过自主研发光栅设计平台，实现准确、快速的光栅设计。在衍射光波导设计方面，我们集成了衍射光学和几何光学设计方法，通过高效的算法，实现理想的光学效果。

基于全息光刻和离子束刻蚀的光栅母版制备工艺

光栅母版制备是光栅生产的核心工艺环节。在光栅母版制备过程中，不仅需要精确控制光栅槽形，还需要兼顾整个光栅区域的均匀性，以获得符合设计要求的衍射特性。因此，光栅母版制备有极高的技术壁垒。至格科技基于二十余年的技术积累，掌握完整、成熟的基于全息光刻和反应离子束刻蚀的光栅母版制备工艺，同时拥有工艺终点在线检测、光栅杂散光控制、全息光刻姿态对准等先进工艺技术，能够实现各种复杂槽形的光栅母版制备。

光栅的纳米压印生产工艺

纳米压印是将光栅母版批量转化为光栅产品的生产工艺，其设备的成熟度和工艺材料的稳定性直接决定了光栅产品的量产良品率和生产成本。其中，衍射光波导纳米压印的主要难点是需要在晶圆玻璃上同时压印出多个具有不同槽形的光栅结构，同时保证结构的转写和精度。至格科技掌握整套纳米压印生产的设备、工艺和材料技术，可实现常规的直齿形光栅结构和特殊的斜齿形、三角形等光栅结构的纳米压印，压印精度可达到纳米级。

主要产品

AR衍射光波导

AR衍射光波导相较于其他AR显示技术路线，具有轻薄、视场角大、眼动范围大、量产性强等优势，是业界普遍认可的AR行业未来的主流技术路线。

产品优势

轻薄、亮度高、量产性强、全方位可定制

衍射光栅

至格具备强大的光栅设计能力、丰富的光栅制作经验、完备的光栅检测手段等优势。至格研发的衍射光栅可应用于增强现实、光谱分析、精密计量、高能激光、光通信等领域

产品优势

低像差、高分辨率、高衍射效率、高光谱能量

应用领域

光学显示，消费电子