精准流量测控 AITOLY INSTRUMENTS 由 苏州爱拓利电子设备有限公司 及 无锡爱拓利电子科技有限公司 组成。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制。爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业，更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀）的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控制器被广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器、石化、制气、医疗、食品、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时，爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系，并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产，规范化管理，爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀，爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广、控制及测量精度高、响应速度快、性能稳定。

苏州爱拓利是国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业。其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀均已实现国产化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能赶超进口同类产品。爱拓利目前已为多家重点大学实验室、科研院所、精密分析仪器厂家、生物制药厂家及、环保设备及光电设备厂商提供流量计/控制器的软硬件配套产品。通过广泛的应用，爱拓利流量计产品的先进性、重复性和稳定性得到了充分的验证。爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有影响力的创新型企业。我们专注于拥有自主知识产权、纯国产化的核心零部件的开发，以期打破进口产品的技术垄断，彻底摆脱对进口品牌的依赖，大力提升先进制程和科学仪器中国产化替代水平和应用规模，致力于早日打造出高品质且性能可靠的流体测控产品，为解决我国基础科学及先进制程领域所面临的“卡脖子”困境贡献一份绵薄之力。

主要产品

气体质量流量控制器流量显示仪

气体质量流量计

多路流量显示仪

皂膜气体流量标准装置

气密性测漏仪

应用领域

半导体行业

在制造半导体芯片的绝缘层（如二氧化硅薄膜）时，常用的化学气相沉积方法是使用硅烷（SiH₄）和氧气（O₂）作为反应气体。气体质量流量控制器（MFC）精确控制硅烷和氧气的流量，确保它们以准确的比例进入反应室。这对于生成高质量、均匀的二氧化硅薄膜至关重要。因为薄膜的厚度、成分和质量直接影响半导体器件的性能，如绝缘性能和电子迁移特性。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S

光伏行业

在 PECVD 过程中，需要精确配比反应气体，如硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）等。气体质量流量控制器MFC能够准确测量和控制这些气体的流量，确保薄膜的厚度、均匀性和光电性能达到理想状态，从而提高光伏电池的转换效率和稳定性。

PVD（物理气相沉积）：PVD 过程中，也需要对各种反应气体进行精确控制。气体质量流量控制器可以根据工艺要求，稳定地提供所需的气体流量，保证沉积薄膜的质量和性能，满足光伏电池的生产需求。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S

真空镀膜行业

在蒸发镀膜过程中，如采用电阻加热、电子束加热等方式使镀膜材料蒸发，然后沉积在基底表面。气体质量流量控制器（MFC）用于精确控制真空腔内的工艺气体流量。例如，在镀铝膜时，氩气常作为保护气体和辅助气体引入。MFC 精确控制氩气流量，能防止蒸发的铝原子在飞行过程中被氧化，确保铝膜的纯度和质量。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S

生命科学行业

在生物发酵过程中，微生物的生长和代谢对气体环境非常敏感。气体质量流量控制器可精确控制氧气、氮气和二氧化碳等气体的供应，确保发酵罐内气体环境的稳定性和一致性，从而提高发酵效率和产品质量。例如，在抗生素发酵生产中，通过精确控制氧气流量，可使发酵过程中的溶氧水平保持在预设范围内，促进抗生素的合成。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S

燃料电池行业

精确控制反应气体供应：在燃料电池测试过程中，需要精确控制氢气和氧气（或空气）等反应气体的流量。气体质量流量控制器（MFC）可以根据测试要求，精确地将氢气以特定的流量输送到燃料电池的阳极，将氧气或空气输送到阴极。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S，MFM330

生物发酵行业

氧气供应：在好氧发酵过程中，微生物需要充足的氧气来进行呼吸作用。气体质量流量控制器（MFC）可以精确地控制进入发酵罐的氧气流量。例如，在酵母菌发酵生产乙醇的过程中，通过 MFC 将氧气流量控制在合适的范围，能确保酵母菌的有氧呼吸阶段顺利进行，为后续的无氧发酵产生乙醇提供足够的能量和中间产物。一般来说，根据发酵罐的大小、酵母菌的浓度和发酵阶段等因素，MFC 可以将氧气流量控制在每分钟几升到几十升不等。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC330-05E，MFC330-05S；气体质量流量计：MFM330

元素分析仪器

化学反应气体控制：在一些特殊的元素分析方法中，会涉及到化学反应气体。例如，在化学发光氮测定仪中，用于分析样品中的总氮含量时，需要通过 MFC 控制氧气的流量。氧气与样品中的氮化合物反应产生化学发光信号，MFC 精确控制氧气流量可以调节反应的速率和程度，从而准确地测量氮元素的含量。一般来说，MFC 可以将氧气流量控制在 50 - 150 mL/min，确保化学反应在合适的条件下进行。

应用产品：气体质量流量控制器：MFC300-03A，MFC300-03D，MFC330-05E，MFC330-05S