微纳感知（合肥）技术有限公司 是一家专注于MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器研发、生产和销售的国家级高新技术企业，2015年11月由中国科学技术大学留学归国人员创办。公司集合了一批海内外优秀科学家和工程师，团队成员具有在国内外顶尖微电子实验室从事MEMS技术研发的丰富经验，拥有多项涉及MEMS关键技术的专利和研究成果。 公司在明珠产业园和中安创谷产业园建有研发和制造中心，其中研发中心4000平米，制造中心4000平米（其中洁净厂房2700平米）。公司依托中国科学技术大学微纳制造中心，引进国内外先进微纳加工和表征设备，初步建成微纳加工、检测和制造工艺生产线。

MEMS产线（IDM）-8英寸

拟投资1.1亿元成立MEMS中试线/MEMS生产线，以年研发8万只MEMS 气体传感器及4万只MEMS气体流量传感器，晶圆尺寸为8英寸, 年投片为6片。

该项目于2023年1月开工建设，2023年4月完成建设，2023年4月开始调试，2023年5月, 项目完成验收。

主要产品

气体传感器

微热板芯片，车用锂电池安全监控模块，汽车空气质量模块，半导体式H₂气体传感器，空气质量传感器，VOC气体传感器，催化燃烧式H₂气体传感器，食品新鲜度模组，冷媒传感器，冷媒检测模组，VOC模组，CO气体传感器，催化燃烧式甲烷气体传感器，催化燃烧式酒精气体传感器

气体流量传感器

HFC1000 热式气体流量芯，HFC2000 热式气体流量芯，HFS2000 气体流量传感器，HFM2000A 气体质量流量，HFMV系列 气体质量流量计，HFMB气体质量流量传感器，HFMB300D气体质量流量传

应用领域

消费电子，智慧家电，工业控制，汽车电子