武汉衍熙微器件有限公司是一家专注于MEMS（微机电系统）器件研发、生产和代工的高科技企业，致力于为客户提供高性能压电器件解决方案及专业的材料表征与膜层量测服务。公司依托国内领先的8英寸MEMS产线，以创新的技术、成熟的量产能力和严格的质量管控体系为核心竞争力，产品广泛应用于消费电子、通信、医疗等领域，并成功打入全球知名品牌供应链。

主营业务与技术优势

公司主营业务涵盖以下三大方向：

1. MEMS器件代工：

压电驱动微型超声换能器（PMUT）：应用于医疗成像、手势识别等领域，具有高灵敏度和低功耗特性。

拾音单元（VPU）：为智能设备提供高保真声音采集解决方案。

压电驱动快返镜（FSM）：用于激光雷达、光学防抖等高端场景。

BAW滤波器：支持5G通信的高频信号处理，累计出货量超1亿颗，客户包括闻泰、龙旗等ODM厂商，终端产品覆盖小米、三星等知名手机品牌。  

2. 材料表征服务：

配备X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等先进设备，为客户提供材料结构、形貌及性能的精准分析。

3. 膜层量测与修整：

拥有金属膜厚量测仪（ECHO）、椭偏仪、台阶仪、应力仪等工具，结合独创的膜层修整工艺（Trim），可实现对薄膜厚度、应力等参数的纳米级调控。

核心特色与行业地位

- 国内首条8英寸MEMS产线：具备大规模量产能力，显著降低客户成本。

- 高性能压电材料技术：掌握AlN（氮化铝）及Sc（钪）掺杂AlN（掺杂比例覆盖9.6%-40%）的成膜工艺，器件性能国际领先。

- 量产交付经验丰富：通过严格的ISO质量体系认证，从研发到量产全流程管控，确保产品一致性与可靠性。

企业理念与社会责任

公司秉持“不断发展壮大、始终奉献社会”的核心理念，持续投入研发，推动MEMS技术国产化进程；同时注重产学研合作，与高校及科研机构共建创新平台，培养行业人才。未来，衍熙微器件将持续深耕微纳制造领域，以技术创新赋能客户，助力中国高端制造业升级。

武汉衍熙微器件有限公司愿与全球合作伙伴携手，共同探索智能时代的微型化技术前沿！