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SJI-SEMI 尚积半导体无锡尚积半导体科技有限公司 是一家专业研发、生产半导体国产自研设备的厂商,主营设备包括金属溅射沉积(PVD),加强型等离子化学气相沉积(PECVD),等离子干法刻蚀(ETCH)三个领域,服务于为全球的功率器件 发展历程2008年,团队进入MEMS领域,开发出氧化钒薄膜溅射,打破国外技术垄断,市占率遥遥领先2012年,团队开发出吸气薄膜溅射,打破国外技术垄断,成为该工艺国内的国产备供应商,市占率遥遥领先.2019 年,团队进入功率器件领域,开发出Hot AI填孔工艺金属薄膜溅射,成为该工艺国内第一家国产设备供应商,市占率遥遥领先.2020年,团队开发出SiC背面金属薄膜溅射BSM,成为该工艺国内第一家国产设备供应商 2021年,团队开发出SI背面金属薄膜溅射2021年,,团队开发出Si背面金属薄膜溅射,成为该工艺国内少有的国产设备供应商,性能优于国内友商.2020年,团队开发出SiC背面金属薄膜溅射BSM,成为该工艺国内第一家国产设备供应商 涉及业务PVD设备,PECVD设备,Etch设备,ICPCVD设备
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鹏城半导体公司已投放市场的部分半导体设备物理气相沉积(PVD)系列磁控溅射、电子束、热蒸发镀膜机,激光沉积设备PLD化学气相沉积(CVD)系列MOCVD、PECVD、LPCVD、微波等离子体CVD、热丝CVD、原子层沉积设备 激光分子束外延系统(LMBE)成套设备团簇式太阳能薄膜电池中试线、OLED中试设备(G1、G2.5)其他金刚石薄膜制备设备、合金退火炉、硬质涂层设备、磁性薄膜设备、电极制备设备真空镀膜机专用电源系列直流溅射电源 、RF射频溅射电源、高精度热蒸发电源、高能脉冲电源(中频可调脉宽)
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Rray-photonics 睿一光电核心技术光电子元器件,半导体光刻+PVD镀膜技术(蒸发,溅射)主要产品透镜光纤组件锲形、锥形、斜面、斜楔形、四面锥形、球透镜光纤、侧面长焦距透镜、拉锥光纤、光纤透镜阵列、弯曲光纤二、光学冷加工:1、棱镜
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Avptec 艾微普科技公司的核心技术和产品包括物理气相沉积/磁控溅射(PVD)、离子束刻蚀机(IBE)、反应离子刻蚀机(RIE)等系列MEMS、半导体、新能源器件制造专用设备。公司自创立以来,已经获得几十项国家专利。
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ZIROX燃烧装置的燃烧优化瓷器及陶瓷烧成质量控制监测焊接和锡焊技术的保护气体和合成气体浮法玻璃生产的质量控制食品行业残氧监测热处理工艺监控(例如退火和烧结)表面处理工艺优化(渗碳、渗氮、氮碳共渗)真空工艺控制(PVD 、溅射、等离子氮化)实验室设备用测试气体发生器(通过固态库仑法调节载气)工业等离子体过程的控制
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Evatec 意发薄膜Evatec AG 是一家总部位于瑞士的公司,专门从事高科技蒸发和溅射机的开发、生产和销售,并为先进封装、惠普光学、MEMS(光学和磁)、光电、功率器件和无线通信制造商提供解决方案。 PVD技术大量的蒸发和喷溅技术传统技术涂料修饰或去除层的等离子体技术PICVD技术低工艺温度下的优质涂料APC技术提高薄膜加工的精度和产量产品根据您的应用程序、基板格式和吞吐量需求,我们提供一系列的批处理
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Haichuang 海创智能主要产品永久键合设备Bonder、临时键合/解键合设备Debonder、物理气相沉积设备PVD、等离子增强化学气相沉积设备PEVCD、涂胶显影设备Coater-developer、刻蚀机Etcher、半导体检测

