EBI电子束缺陷检测设备EBI电子束缺陷检测设备（Electron-Beam Inspection, 简称 EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，通过智能算法检测出硅片上的电性和物理缺陷 CD-SEM关键尺寸量测设备CD-SEM关键尺寸量测设备（Critical Dimension- Scanning Electron Microscope, 简称CD-SEM），通过对电子束显微图像进行关键尺寸量测 SEpA-c系列电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM），面向150mm/200mm/300mm硅片工艺制程。 通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。 DR-SEM电子束复检设备DR-SEM电子束复检设备（Defect Review - Scanning Electron Microscope, 简称DR-SEM），适用300mm硅片，基于超高分辨率电子束成像技术对缺陷进行复检分析

半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务商武汉精测电子集团股份有限公司（股票代码：300567）创立于2006年4月，是一家致力于为半导体、显示以及新能源测试等领域提供卓越产品和服务的高新技术企业 主要产品半导体老化测试系统，晶圆探测自动测试设备，最终测试自动测试设备，膜厚量测系统，光学关键尺寸量测系统，电子束缺陷检测系统，形貌测量，电子束关键尺寸量测系统显示信号驱动与检测系统，仪器仪表，光学检测与良率管理系统 ，调测与修复系统，多功能良率管理系统，智能自动化装备，Mini/Micro检测设备新能源动力电池智能装备生产线，锂电池检测设备，燃料电池测试系统

公司专注于扫描电镜、原位测量系统、台阶仪、探针台、电子束光刻机等精密设备的研究，填补了国家在科学精密仪器领域的诸多空白。人才是企业的核心竞争力和发展的驱动力。 未来，泽攸科技还将继续坚持“用精密量测赋能科技创新”的理念，以“科技指领”打破进口纳米科学仪器设备的垄断，聚焦新材料、新能源、半导体、生物医药、基础科研等前沿领域，实现自主研发，打造集微纳米加工、微纳表征 主要产品扫描电子显微镜SEM原位解决方案TEM原位解决方案台阶仪纳米位移台扫描隧道显微镜化学气相沉积系统光栅尺二维材料转移台超高真空组件及配件探针台及低温系统其他企业文化使命：用精密量测赋能科技创新愿景 100套2019年推出首套国产自主研发台式描电子显微镜：ZEM15钨灯丝扫描电子显微镜入驻松山湖材料实验室创新样板工厂2018年获数千万基金融资2017年PicoFemto系列原位电学、力电、光电产品在澳大利亚昆士兰科技大学顺利安装验收 （3）推出完全自主研发的台式钨灯丝扫描电子显微镜ZEM15，该产品通过市场定位，结合创新的电子光学设计、电路模块设计和软件功能设计，打造易用且高性价比的台式扫描电子显微镜。