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上海工研院(上海工研院,全称“上海微技术工业研究院”,SITRI)成立于2013年,由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建,依托新微集团“三位一体”协同创新体系,打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台 通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发,为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。 上海工研院于2017年建成全国首条8英寸研发中试线,洁净室面积近5000平方米,硬件投入超10亿元,拥有主流设备150多台,可提供智能传感器、硅基光子学、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术,为产品设计公司提供高效的工艺研发和中试服务 上海工研院硅光工艺平台具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力,并针对不同应用场景,实现了220nm薄硅SOI、1.5~3μm厚硅SOI 平台提供光收发、光传感等多种类型硅光芯片的研发和小批量流片服务。
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QUNFA 群发光芯硅基光子实验室群发硅基光子技术实验室成立于2019年,主要从事硅基光电子器件的研发,是群发全固态OPA激光雷达芯片设计与开发的重要部门。 公司定位硅基光子技术是未来信息产业发展的战略制高点,群发硅基光子实验室以OPA激光雷达芯片为突破点,积极布局,以点带面抢占硅光技术的国际科技前沿。 后期逐渐将实验室打造成集硅光芯片开发、测试、调试为一体的省内先进、国内知名的硅基光子实验室,积极推动我国集成光电子芯片批量生产和产业化的进程。 荣誉资质技术优势创新研发1. 硅基超低损耗集成光波导的制造技术2. 新型光子移相结构的设计 3. 超低旁瓣电平的抑制技术品质管控实验室测试:群发硅基光子实验室成立于2019年,主要从事硅基光电子器件的研究和开发,是群发全固态OPA激光雷达芯片设计与开发的重要部门。
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CUMEC 联合微电子CUMEC 公司针对国家微电子行业高端发展的需求,着力打造集技术、产品和工艺为一体的光电融合高端特色工艺平台,以硅基光电子、微系统先进封装、多光谱探测、碳基集成电路等工艺技术和产品技术为核心,探索“超越摩尔 硅基光电子技术走在了国内前列,获批国家高新技术企业、第四批国家“专精特新”小巨人企业,拥有1个国家级创新平台、4个省级创新平台/重点实验室、1个国家级博士后工作站。 ,以硅基光电子、微系统先进封装、多光谱探测、碳基集成电路等工艺技术和产品技术为核心,探索“超越摩尔”的行业发展模式。 五大模组工艺整合,光刻,刻蚀,薄膜,扩散研发成果硅基光电子研发中心硅基光电子研发中心聚焦探索微米纳米量级光子和电子为信息载体的硅基大规模集成技术。 核心内容是研究如何将光子器件“小型化”、“硅片化”并与纳米电子器件相集成,即利用硅或与硅兼容的其他材料, 在同一衬底上同时制作若干微纳量级、以光子或电子为载体的信息功能器件,形成一个完整的具有综合功能的
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SmartCore Optoelectronics 灵动芯光深圳灵动芯光科技有限公司(SmartCore Optoelectronics)是一家聚焦于硅基光子技术的高科技公司,其技术来源于清华大学电子工程系陈教授科研团队十余年的研究成果。 创业团队经过数年的研发和工程实践,解决了诸如硅光芯片设计、超低损耗氮化硅波导加工工艺、多芯片混合集成封装、异种材质封装的机械稳定和热稳定等关键技术难题和生产工艺,完成了实验室技术到产业技术的转移,打造了理论到技术到产品的闭环体系 成长发展史2023至今常州生产/研发基地建设一期产线,预计建成后具备单班500pcs/月硅光混合集成器件的封装能力,500pcs/月硅光集成模块的生产、老化、测试能力。 超窄线宽系列系列激光器小量交付常州灵动芯光科技有限公司成立完成数千万元天使轮融资深圳灵动芯光科技有限公司成立,并引入清华大学知识产权入股2019在清华大学天津电子信息研究院扶持下开始产业孵化2009陈教授在麻省理工开启硅基光子技术的研发工作公司布局深圳灵动芯光科技有限公司常州灵动芯光科技有限公司
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PhotonIC 光梓科技公司核心团队在高速光电子集成电路、硅基集成光电传感系统等方面具备近20年的技术积累,公司利用具有完整自主知识产权的CMOS高速低功耗模拟光电子芯片设计和制造技术,联合世界领先水平的科研单位和行业内龙头企业 ● 2017年上海张江科技创新百强企业● 高新技术企业● 上海市专精特新企业● ISO 9001质量管理体系认证● 复旦大学--光梓科技:高速硅光芯片联合实验室● 中国科学研究院半导体所-光梓科技:高速光电集成电路联合实验室 ● 承担上海市十三-五科技重大专项“硅基高速互连集成芯片子专项”● 承担2019年上海市工业强基重点领域补短板专题“面向全自动驾驶固态激光雷达的光电信号处理芯片”● 承担2020年上海市工业强基“产业转型升级发展专项 -产业链协同创新”● 承担2020年国家科技部“光电子重点研发任务--重大攻关专项”● 承担2022年国家重点研发计划“信息光子技术”重点专项● 承担2023年国家科技部“信息光子技术”重点专项核心价值 基于CMOS和BiCMOS工艺平台,具备显著的品质和成本优势国际化的团队、国际化的供应链、国际知名品牌的客户群体部分领域实现全球范围内领先技术和产品、实现规模化量产具备领先技术和商业化经验的国际团队
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NLIR丹麦 NLIR 中红外传感器丹麦 NLIR 是从丹麦技术大学(DTU Fotonik)光子工程系分拆出来的,基于DTU Fotonik创始人发明的新颖专利上转换技术。 上转换技术的核心是将中红外光转换为近可见光的非线性晶体。这使得使用快速高效的硅基传感器来检测MIR光成为可能。我们的非线性中红外传感器代表了一种革命性的新测量范式(资源)。 我们公司被命名为非线性红外传感器(NLIR),以突出我们的光谱仪产品与当今领先的傅里叶变换红外光谱(FTIR)的MIR光谱方法的技术差异。
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VisionICs 芯视界设有南京、上海、硅谷三处研发中心和深圳的市场营销中心,芯视界在单光子直接ToF(SPAD dToF)技术和应用落地上处于领先地位,是全球率先研究单光子dToF三维成像技术的先驱之一。 公司拥有芯片级的光电转换器件设计和单光子检测成像技术,主营基于单光子探测的一维和三维ToF传感芯片。 visionICs(芯视界前身)于2016年在美国硅谷Santa Clara市成立,成立之初便开始了基于单光子直接ToF的科研工作,并坚持走单光子直接ToF的技术路线。 公司拥有先进的硅光集成电路产品设计和开发能力,研发团队由数名国际高精尖专家组成,多年的深耕使公司具有深厚的科研积淀和商业转化实力。 企业文化愿景成为世界领先的光传感芯片与方案供应商使命聚焦智慧之眼价值观客户至上、质量为本、结果导向敢于担当、创新驱动、追求卓越主要产品1D ToF3D ToF解决方案单光子检测器硅基单光子雪崩二极管探测器
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Phovie 近观科技近观科技在国内集成电路与生物技术融合(BTIT)的新兴领域,尤其是硅基光电子技术(硅光)在生命健康领域应用的先锋企业。 掌握全球领先的氮化硅基生物硅光的设计、制造、封测和应用,建有国内少有的可见光到近红外(400-1000nm)工作范围的芯片测试和应用实验室,并已累计申请专利超百项。 目前优先发展的产品有:(1)基于拉曼光谱技术,攻克无创血糖检测医疗级精准度的世界级难题,并基于硅光技术,研发空间外差拉曼光谱仪和片上激光来实现规模化和低成本的无创血糖仪;(2)基于硅光单模波导近场光学原理 硅光芯片设计提供灵活的PDK开发以及完整的硅光芯片产品设计服务。设计面涵盖器件仿真、版图、完整链路分析、蒙特卡洛分析等。并按照客户要求进行产品量产规划。光子芯片链路设计,以及对应的的元器件研发需求。 硅光芯片量产通过与晶圆厂紧密合作来确保开发过程的顺利进行。从工艺定制、堆栈开发到原型机开发、生产运行等。使用我们在集成光子生态中所积累的供应链为客户提供最优服务。
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Latitude (LDA) 逍遥科技公司拥有在微纳光子/硅基光电子、第三代半导体等前沿技术的深度积累,与国内多家高校开展产学研深度合作。 逍遥科技致力于为“特色工艺”半导体芯片设计提供自动化解决方案。 EDA全流程解决方案产品线PIC Studio:光子/光电子芯片设计全流程Power Studio:功率器件设计全流程MEMS Studio:MEMS/传感器设计全流程Meta Studio:超构透镜( 我们的解决方案已被光通讯、光运算、微纳光子等领域的领军企业所采用,凭借先进的技术和优质的技术服务赢得了客户的高度评价。
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Raytron 睿创微纳深耕长波、中波、短波红外技术睿创微纳依托公司在非制冷红外焦平面芯片、器件、模组及整机领域的核心技术和业内领先的量产平台,积极布局III-V族化合物半导体技术平台,支撑光子型探测器与半导体激光器研发与产业化 微波领域在微波领域,睿创微纳可为客户提供硅基及化合物基MMIC芯片、射频前端芯片与模块、T/R组件产品以及微组装代工服务,同时可为有需要的客户提供相控阵天线等微系统及子系统产品和解决方案,产品可以广泛用于地面无线通信 硅基波束赋形芯片技术包括模拟波束赋形(ABF,Analog Beam-Forming)芯片与数字波束赋形(DBF,Digital Beam-Forming)芯片两大系列。 化合物基MMIC芯片技术基于先进的GaAs及GaN外延材料、器件与工艺技术,掌握C/X/Ku/Ka等波段T/R MMIC套片,超宽带放大器MMIC芯片、低噪声放大器MMIC芯片、高功率高效率GaN功率放大器 烟台齐新半导体技术研究院有限公司齐新半导体定位为智能光电传感器特色工艺平台,项目总投资9亿元,涵盖硅基MEMS传感器、化合物光电探测器及化合物微波器件的先进封装技术领域。
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半导体工艺难上加难,格芯无奈追逐硅基光子技术?2020-05-14
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国科光芯将致力于开发可量产、低成本的激光雷达芯片2020-04-14