广东中科半导体微纳制造技术研究院 是由佛山市、南海区共同投资建设的广东省省属事业单位。 研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求，布局"新型显示与光电探测"、"功率电子与5G通信"、"MEMS智能传感"等研究方向，开展化合物半导体材料、光电子器件、电子器件、传感器件、精密印刷电子等多种半导体材料与器件工程化研究 研究院面向重大科研任务实施及区域产业发展需求，建设针对大尺寸材料外延、光电子器件、功率器件、射频器件、传感器件、生物芯片等领域的8吋硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台，开展GaN外延材料生长、芯片加工

CUMEC 公司针对国家微电子行业高端发展的需求，着力打造集技术、产品和工艺为一体的光电融合高端特色工艺平台，以硅基光电子、微系统先进封装、多光谱探测、碳基集成电路等工艺技术和产品技术为核心，探索“超越摩尔 CUMEC公司已建成国内首个开放硅基光电子、微系统先进封装等工艺的光电集成高端特色工艺平台，已经对外发布7套工艺PDK，器件性能和工艺能力处于国内领先、国际先进水平。 ，以硅基光电子、微系统先进封装、多光谱探测、碳基集成电路等工艺技术和产品技术为核心，探索“超越摩尔”的行业发展模式。 核心内容是研究如何将光子器件“小型化”、“硅片化”并与纳米电子器件相集成，即利用硅或与硅兼容的其他材料， 在同一衬底上同时制作若干微纳量级、以光子或电子为载体的信息功能器件，形成一个完整的具有综合功能的 微系统中心智能传感研发中心联合创新CUMEC坚持自主研发与协同创新相结合，坚持为创业者提供“零成本”创新环境，逐步形成支持国内外合作、校企协作、工艺-器件-系统产业链协同的创新生态。

未来还可以作为电子鼻应用于下一代 智能手机、智能机器人等,开拓更广阔的国内外市场。主要产品公司目前拥有一批具有自主知识产权的核心技术、高新技术产品， 皆有良好的应用前景。 高效的集成化微型加热板高集成度： 微型加热板直接集成在三维气体纳米传感器的背面，降低了工艺复杂度超低热损耗： 利用微纳加工技术，大幅缩小微型加热器的面积， 同时由于金属氧化物具有较高的热传导率且远远高于周围的空气 项目团队可在单片阳极氧化铝基底上集成12个传感器，并实现室温下对氢气的超高灵敏度探测， 功耗仅为12.5微瓦，为传统器件的一千分之一。 配合人工智能算法，可实现对氢气、水、苯和二氧化氮的识别。 Nano 7.10 (2013): 9318-9324）《传感器与执行机构，B辑：化学传感器》（Sens, & Actuators B: Chem. 206 (2014): 764-771）《IEEE电子器件快报 》（IEEE Electron Device Letter 37 (2016): 92-95）智能运动鞋垫智能鞋垫，跑出人生巅峰。