苏州科仪半导体核心装备领域专用磁悬浮分子泵项目预计明年投用

国家集成电路设计西安产业化基地 20231217

  • 半导体装备

据苏州科技城官微消息，目前，苏州中科科仪半导体核心装备领域专用磁悬浮分子泵项目成果转化平台已实现主体结构全面封顶，预计2024年正式投入使用。

据悉，该项目达产后具备年产10000台磁悬浮分子泵、100台检漏工程装备以及500台检漏仪能力，通过产业化发挥规模经济效益，打造长三角地区又一具有鲜明特色、创新要素汇聚融合的产业高地，以高水平的技术供给支撑区域高质量发展。

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