硅片的分类有哪些?
在微纳加工中,我们常需要用到硅片作为衬底进行微结构的加工。市面上有很多的硅片种类,对于刚接触的硅片的同学来说,我们需要对硅片的分类有个初步的了解。苏州原位芯片专门为做科研的老师们提供实验用的硅片。我们整理了硅片的相关信息,根据不同的分类方式分为以下几种:
根据制造工艺:硅片可以分为单晶硅、多晶硅和非晶硅。
根据应用领域:硅片可以用于半导体工业、太阳能发电等领域。
根据生产厂家:硅片可以由不同的厂家生产,例如中国的一些大型半导体企业,如中环股份、有研硅股等。
根据尺寸:硅片可以按照直径分为不同的规格,例如8英寸、12英寸等。科研式样常规使用6寸及以下的硅,而量产则需要采用8寸和12寸
根据材料:硅片还可以分为单晶硅片和多晶硅片,其中单晶硅片又可以分为直拉单晶硅片和区熔单晶硅片。
根据加工工艺:硅片可以分为机械切割硅片和化学腐蚀硅片。
根据外观:硅片又可以分为平面的和刻槽的。
这些分类方式只是硅片分类的一部分,仅供参考,实际分类方式还需要根据具体应用场景和需求来确定。
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