三星旗下Semes成功开发ArF-i光刻涂胶/显影设备

雷穿戴 20240627

​三星电子旗下的晶圆厂设备公司Semes成功开发出一种ArF-i浸润式光刻涂胶/显影设备。该公司6月24日表示，第一台名为“Omega Prime”的设备已于去年供货，Semes正在制造第二台设备。

三星电子的晶圆厂设备公司Semes成功开发了一种ArF-I浸润式光刻涂层/显影设备。该公司6月24日表示，第一台名为“Omega Prime该设备已于去年供应，Semes正在制造第二台设备。

到目前为止，韩国芯片制造商严重依赖国外进口设备，三星每年花费数千亿韩元。

据了解，涂胶设备用于曝光前，对晶圆进行光刻胶涂布。光刻完成后，光刻图案的显影应由显影设备进行。

目前，Semes已经制造了KRF光刻涂胶/显影设备，并在此基础上开发了ARF版本，以支持波长较短的新型光刻机。

据业内报道，目前东京电子（Tokyo Electron）全球市场份额超过90%的ArF-i光刻涂胶/显影设备。

Semes表示，Omegaga 喷嘴、烘烤温度和机器人位置自动调节系统应用于Prime设备，以消除涂层的偏差。



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