泓川科技LT-R 系列纳米级白光干涉测厚仪：精密测量领域的革新者
在精密制造与材料分析领域，膜层厚度的精准测量是确保产品性能的关键环节。泓川科技作为行业领先的精密测量专家，其推出的 LT-R 系列反射膜厚仪（白光干涉测厚仪）凭借卓越的技术性能与创新设计，为半导体、显示面板、光伏、精密涂布等行业提供了高精度、高稳定性的膜厚测量解决方案。以下从技术原理、核心优势、产品规格及应用场景等方面展开全面介绍。
一、品牌与产品定位
泓川科技（chuantec）专注于光学测量技术的研发与创新，其 LT-R 系列反射膜厚仪属于白光干涉测厚设备，主打纳米级精度、多层膜解析能力及复杂环境适应性，旨在为高端制造业提供可靠的膜厚检测工具。产品具备体积小巧、安装便捷等特点，可无缝集成至生产线或实验室环境。
二、核心技术原理与创新设计
1. 组合光源与光谱覆盖
- 光源配置
：采用高强度氘灯（190-400nm）与卤素灯（350-2500nm）组合光源，覆盖紫外（UV）、可见光到近红外（IR）全光谱范围（190-2500nm）。
- 技术优势
：宽光谱光源显著提升测量稳定性与灵敏度，结合高效模型拟合分析算法，可精确解析单层膜至多层透明 / 硬质薄膜的厚度及光学参数（如折射率）。
2. 抗干扰系统设计
- 硬件层面
：选用高灵敏度、高信噪比元器件，从源头减少噪声干扰。
- 算法层面
：独创多参数反演算法，有效抑制外部扰动（如振动、温湿度波动），确保测量结果的可靠性。
- 光学结构
：创新光学系统设计，支持在物理空间受限或粉尘、电磁干扰等恶劣环境下稳定工作。
3. 智能软件支持
- 测控软件
：配套WLIStudio 上位机软件，集成暗校准、反射率归一化、光源特性补偿等功能，可实时显示测量数据与波形。
- 二次开发
：提供WLI-SDK 开发包，支持用户自定义测量流程与系统集成，满足个性化检测需求。
三、产品规格与性能参数
| 参数类别 | 指标详情 |
|---|---|
| 测量范围 | 约 20nm~50μm（折射率 1.5 时） |
| 重复精度 | 0.05nm（测量 100nm 二氧化硅标准物质，连续采集 1000 组数据的 1 倍标准偏差） |
| 准确度 | <±1nm 或 ±0.3%（取较大值，基于二氧化硅标准物质测试） |
| 测量角度 | 轴向 / 径向 ±5°（建议保持恒定） |
| 光源波长范围 | 氘灯（190-400nm）+ 卤素灯（350-2500nm） |
| 探头类型 | - 弥散光斑（LT-IVP-T10-UV-VIS）：安装距离 5~10mm，光斑直径约 4mm（10mm 距离时） |
| 环境适应性 | 工作温度 10~40℃，相对湿度 20%~85% RH（无冷凝），防护等级 IP40 |
| 电气参数 | 电源 220V±20V AC，功率 50W，采样频率最大 100Hz（视参数复杂度而定） |
| 物理尺寸 | - 弥散光斑探头：φ6.35×3200mm（含线），重 190g |
四、核心功能与应用场景
1. 核心功能亮点
- 多层膜厚解析
：支持透明 / 半透明多层膜结构（如 LCD 液晶盒、光学镀膜、PCB 介电层）的厚度与折射率同步测量。
- 硬质薄膜测量
：可检测陶瓷涂层、金属镀层等硬质材料，适应工业级耐磨需求。
- 非接触式测量
：光学反射原理避免接触损伤，适用于柔性材料（如涂布薄膜、生物芯片）。
2. 典型应用场景
- 半导体与光伏
：硅片 Poly 层厚度测量、光刻胶膜厚监控、太阳能电池减反膜检测。
- 显示面板
：液晶显示（LCD/OLED）膜层（如偏光片、取向层）厚度测量，确保显示均匀性。
- 精密涂布与喷涂
：汽车油漆涂层、电子器件防水膜、锂电池电极涂布层的厚度均匀性检测。
- 科研与实验室
：纳米材料研发、光学器件镀膜工艺优化、生物医学薄膜特性分析。
五、产品选型与适配建议
- 探头选择
：
- 弥散光斑（LT-IVP-T10-UV-VIS）
：适用于大面积均匀膜层快速扫描，安装灵活。
- 聚焦光斑（LT-IRVP-TVF）
：适合微小区域（如芯片引脚、微孔涂层）的高精度测量，需注意轴向 / 径向安装距离（55mm 或 34.5mm±2mm）。
- 定制需求
：若需特殊工作距离（35~200mm）或非标准接口，可联系销售团队定制。
六、总结
泓川科技LT-R 系列白光干涉测厚仪以宽光谱光源、抗干扰设计、纳米级精度及多层膜解析能力，树立了精密测量领域的新标杆。其紧凑的体积与灵活的安装方式使其成为生产线在线检测与实验室研发的理想工具，助力半导体、显示、新能源等行业实现工艺优化与品质管控的升级。
关键词：白光干涉测厚仪、创视智能、纳米级精度、多层膜测量、抗干扰设计、半导体检测
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无锡泓川科技
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