瀚天天成发布全球首款12英寸碳化硅外延晶片
瀚天天成发布全球首款12英寸碳化硅外延晶片
近日,厦门火炬高新区内的瀚天天成企业宣布,其研发团队通过自主技术攻关,成功推出了全球首款12英寸碳化硅外延晶片。这一技术突破不仅有望提升功率器件的生产效率,也为碳化硅芯片的大规模、低成本制造奠定了坚实基础。
与现有的6英寸(150mm)碳化硅外延晶片以及仍在产业化推进中的8英寸(200mm)晶片相比,12英寸(300mm)晶片由于直径更大,在相同的工艺流程中可以承载更多的芯片器件。数据显示,其单位晶片的器件数量较6英寸晶片提升了4.4倍,较8英寸晶片提高了2.3倍。
目前,瀚天天成已开始为12英寸碳化硅外延晶片的批量供货做准备。该产品在关键性能方面表现突出:外延层厚度均匀性控制在3%以内,掺杂浓度不均匀性不超过8%,2mm×2mm芯片良率超过96%。这些指标足以满足高可靠性功率器件应用的需求。
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