优艾智合推出新一代半导体工业移动操作机器人

玩物志 20260331

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优艾智合推出新一代半导体工业移动操作机器人

3月25日,SEMICON CHINA 2026在上海正式开幕,全球领先的移动操作机器人解决方案提供商优艾智合在展会上发布了三款全新产品。

在展会现场,三台移动操作机器人在模拟的半导体制造环境中展示了协同工作的场景,涵盖了从取料、运输到对接放料的全过程,构建出完整的物料智能流转闭环。

此次发布的三款新型移动操作机器人分别为OW12-300、OW8-350和ATS6F,分别针对12英寸晶圆全制程工艺、8英寸晶圆前道处理,以及跨洁净等级的物料运输场景,共同构建了覆盖整个半导体制造流程的工业物流解决方案。

效率革新:实现全天候连续作业

在对精度、洁净度与系统稳定性要求极高的半导体制造领域,优艾智合的新产品从效率、洁净控制和连续运行三个层面推动了一次效率升级。

OW12-300能够兼容FOUP、FOSB、Metal CST等多种12英寸晶圆载具,覆盖多种工艺节点。而OW8-350则专用于前道工艺,支持在650mm狭窄通道中灵活通行。

OW12-300

现场演示显示,OW12-300与OW8-350均可在25秒内完成空满料对接操作,该节拍已与传统天车系统相当。作为OHT系统的柔性补充,该机型有效缓解了厂内物流的瓶颈。

OW8-350

在连续作业能力方面,OW12-300采用无线充电与双电池设计,OW8-350则配备超大容量电池和双侧无线充电功能,两者均可在作业过程中完成充电操作,从而实现7×24小时不间断运行,提升整体生产效能。

行业首创:解决跨洁净区物流难题

三款新品中,ATS6F尤为引人关注。这款专为长距离、高洁净环境打造的机器人,是优艾智合在该领域的首次创新尝试。

ATS6F配备了舱内洁净系统和自动密封装置,可在万级洁净车间中保持百级洁净度。该设备支持跨洁净等级、跨区域的无界运输,减少了传统连廊建设中对无尘环境和专用轨道的依赖,在保证洁净度的同时显著降低综合投入成本。

ATS6F

ATS6F还集成了物料信息管理系统,实现运输过程中的全程追踪与安全保障,使机器人与生产系统深度集成,构建完整的数据闭环,强化物质流与信息流的协同,成为推动行业智能化升级的重要基础。

作为全球工业具身智能领域的先锋企业,优艾智合深耕移动操作机器人市场,依托其“一脑多态”智能机器人解决方案,拓展机器人在多场景中的应用边界。

在对产品与技术要求极为严苛的半导体及能源化工领域,优艾智合已实现规模化部署,占据了行业领先地位。据最新数据显示,以2024年营收为基准,优艾智合在全球工业移动操作机器人市场中位列第一。

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