向光而行！上海工研院光模块专用硅光芯片实现量产
近日，上海工研院围绕重点客户产品开发需求，依托自主建设的220 nm SOI硅光工艺平台，顺利完成多型号高速硅光芯片的批量交付，并通过可靠性验证，标志着上海工研院已全面打通硅光芯片工艺开发、MPW 流片和批量晶圆制造的完整服务链路，具备面向产业化应用的硅光芯片制造与交付能力。
作为国内较早布局硅光技术研发与制造的平台之一，上海工研院已建成覆盖90 nm高精度光刻、锗硅外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等核心环节的完整工艺体系。面向高速光通信、光互连、光传感等应用需求，平台已形成220 nm薄硅SOI、1.5–3 μm厚硅SOI、SiN以及SiN-on-SOI等多套光子集成工艺平台。
平台于2023年发布基于90 nm工艺节点的硅光PDK，2025年完成低损耗SiN/SOI集成工艺升级并发布PDK 4.0版本，调制器、探测器等核心器件性能达到国际先进水平。同期完成340 nm SOI、可见光SiN、SiON等特色工艺开发，形成覆盖高速光互连、片上光谱仪、生物传感、光计算等领域的工艺体系。依托完善的工艺储备和标准化器件模型，平台可灵活承接MPW、定制开发及批量生产等多种合作模式。
面向未来，上海工研院硅光技术平台将持续聚焦220 nm SOI高速硅光工艺、超低损耗SiN集成工艺和多材料异质集成工艺三大核心方向，不断提升平台性能与量产能力。平台将支撑单波200 Gbps高速光收发芯片研发验证，并同步推进薄膜铌酸锂等新型异质集成技术开发，满足单波400 Gbps及更高速率光收发器的研发量产需求，为人工智能时代高速光互连与光通信技术发展提供坚实支撑。
关于上海工研院
上海工研院（全称“上海微技术工业研究院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台。通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发，为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。
上海工研院2025年被评选为国家专精特新“小巨人”，是国务院国资委（2022、2023）“科改示范企业”、国家知识产权优势企业、上海市“专精特新”企业，连续两年入选上海市硬核科技企业TOP100，已累计申请专利突破1000件，培育孵化公司20余家，总估值超过150亿元。
上海工研院立足上海、面向长三角、辐射全国，构建科学研究+技术攻关+产业孵化+资本赋能+人才高地全过程创新和高质量孵化生态链，建设科技创新和产业创新深度融合发展的“超越摩尔”功能型平台和产业生态，推动“超越摩尔”领域新质生产力跃升。
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