主要特点输出信号大，灵敏度高：硅应变电阻的灵敏因子比金属应变片高50～100倍，故相应的传感器灵敏度很高，一般满量程输出100mV左右。因此对接口电路无特殊要求，应用成本相应较低。 由于它是种非机械结构型传感器，因而分辨率极高，国外称之为无极限，即主要受限于外界的检测读出仪表限制及噪声干扰限制，一般均可达传感器满量程的十万分一之以下。硅压阻传感器在零点附近的低量程段无死区。 在动态应用时，动态精度高，使用频带宽，合理选择设计传感器外形，使用带宽可以从零频至100千赫兹。由于工作弹性形变低至微应变数量级，弹性薄膜最大位移在亚微米数量级，因而无磨损，无疲劳、无老化。 由于微电子技术的进步，四个应变电阻的一致性可以做得很高，加之激光修调技术、计算机自动补偿技术的进步，目前硅压阻传感器的零位与灵敏度温度系数已可达10-5/℃数量级，即在压力传感器领域已超过温度系数小的应变式传感器的水平 硅压阻传感器也有其弱点与局限，在弹性元件比较复杂的应用领域，如应变、扭矩、集中力测量中，不如应变片式传感器灵活适用。

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