捷佳伟创:国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备下线

创芯人 20230911

  • 半导体硅片
  • 硅料清洗设备
  • 电子级硅芯

据捷佳伟创官微消息，近日，捷佳伟创子公司常州捷佳创精密机械有限公司国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线，即将交付客户。

据悉，该设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备，用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，清洗后总表金属≤0.2ppbm。

捷佳伟创表示，公司已成为国内唯一一家达到电子级标准的硅芯硅料清洗设备研发生产厂商，目前公司已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货，2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。

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