泓川科技 LTC400 高精度光谱共焦传感器在粗糙度测量中的应用报告

无锡泓川科技 20251015

  • 光谱共焦传感器
  • 非接触式位移测量
  • 金属结构件粗糙度测量

一、引言

表面粗糙度是衡量机械零件表面质量的核心指标,直接影响零件的配合精度、耐磨性、密封性及疲劳寿命。在金属结构件制造领域,高精度粗糙度测量(如 Ra 0.1~3μm 范围)是把控产品质量的关键环节。某客户需求针对 Ra≈0.896μm 的金属结构件,验证测量设备的线性精度与重复精度,泓川科技 LTC400 光谱共焦传感器凭借其纳米级位移测量能力,成为该场景的核心测试设备。本报告基于实测数据,系统分析 LTC400 在粗糙度测量中的技术性能与应用价值。

二、光谱共焦测量原理概述

LTC400 采用光谱共焦技术实现高精度非接触式位移测量,其原理基于 “色差聚焦” 特性,是粗糙度测量的技术核心:

  1. 光源与色散过程

    :传感器发射宽光谱白光(涵盖可见光至近红外波段),经色散镜头后,不同波长的光线聚焦于空间不同位置(短波长聚焦近,长波长聚焦远),形成 “波长 - 距离” 一一对应的聚焦曲线。

  2. 反射光谱采集

    :当光线照射被测物表面时,仅与表面距离匹配的波长会精准聚焦并反射回传感器,其余波长因失焦被滤除;光谱分析仪采集反射光的光谱峰值,通过内置算法反演得到被测点与传感器的实际距离。

  3. 粗糙度计算逻辑

    :通过编码器控制传感器沿被测物表面扫描(采集间隔可至亚微米级),获取表面轮廓的连续位移数据(经滤波处理排除噪声),再根据 GB/T 1031-2009 标准计算算术平均偏差(Ra) 、轮廓最大高度(Ry) 、微观不平度十点高度(Rz) 等粗糙度参数,实现从 “位移测量” 到 “粗糙度分析” 的转化。


三、LTC400 传感器核心技术规格

基于泓川科技官方参数表(LTC400/LTC400B/LTC400S 系列),核心技术参数如下表所示,其高精度特性为粗糙度测量提供硬件支撑:

技术参数

规格值

备注(测试 / 标定条件)

测量中心距离

10mm

以量程中心位置为基准计算

量程

400μm

覆盖多数金属结构件粗糙度测量需求(Ra 0.1~10μm 均适用)

静态重复精度

0.012μm

测量标准镀银膜反射镜,1kHz 采样频率(无平均),连续采集 10000 组数据的均方根偏差

线性误差

<±0.12μm

采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保全量程内误差可控

温度特性

<0.03% F.S./°C

F.S.(满量程)=400μm,适应工业环境温度波动(0~50℃)

测量角度

±43°

使用标准平面反射镜,1kHz 采样率下倾斜测试,适配非平整表面测量

聚焦点光斑直径

7μm(LTC400)/14μm(LTC400B)/112μm(LTC400S)

测量锐利玻璃边缘,以亚微米定位平台 + 激光干涉仪为基准验证,小光斑适配精细表面

最小可测厚度

5% F.S.(即 20μm)

支持薄型金属件的粗糙度与厚度同步测量

工作模式

需配合控制器(LT-CCS/CCD/CCF/CCH)

控制器通道数可选 1/2/4/8/12/16,适应单工位或多工位并行测量

采样频率

最高 21kHz(LT-CCH 控制器)

高采样率确保表面轮廓数据无遗漏,尤其适配粗糙度过渡区域测量

防护等级

IP40

防尘设计,满足工业车间环境使用

使用环境温度

0℃~+50℃(无结露 / 结冰)

可订制 200℃高温版,适配高温金属件测量场景



四、粗糙度测量测试方案设计

针对客户需求(金属结构件 Ra≈0.896μm,验证线性与重复性),设计三层测试方案,确保结果的全面性与可靠性:


4.1 测试目标

  1. 验证 LTC400 对目标粗糙度(Ra≈0.896μm)的测量准确性;

  2. 通过标准粗糙度块验证传感器的线性精度(覆盖 Ra 0.6~2.94μm,含目标值附近区间);

  3. 通过多位置重复扫描验证重复精度(排除局部表面差异对结果的影响)。


4.2 测试设备与样本

  • 核心设备:LTC400 光谱共焦探头 + LT-CCS 控制器(采样频率 10kHz) + 配套测控软件(含滤波与粗糙度计算模块);

  • 标准块:3 组已知 Ra 值的标准粗糙度块(Ra 0.6μm、Ra 1.2μm、Ra 2.94μm),用于线性验证;

  • 被测样本:客户提供的金属结构件(Ra 设计值≈0.896μm,表面清洁无油污)。


4.3 测试流程

  1. 线性验证流程:

    • 分别对 3 组标准块进行 3 次重复扫描(扫描长度 5mm,采样间隔 0.001mm);

    • 软件自动滤波处理原始位移数据(排除环境振动与电子噪声),计算每次测量的 Ra 值;

    • 对比 “标准 Ra 值” 与 “LTC400 测量 Ra 值”,计算误差,验证线性特性。

  2. 重复性验证流程:

    • 在被测金属结构件表面选取 5 个不重叠的测量区域(行 1~ 行 5,每行间距 2mm);

    • 对每行区域进行 2 次连续扫描(相同扫描参数:长度 5mm,采样间隔 0.001mm);

    • 计算每行两次测量的 Ra 差值,统计最大差值与平均差值,验证重复性。

  3. 数据有效性保障:

    • 测试前预热传感器 30 分钟,确保温度稳定(规避温度漂移影响);

    • 每次扫描前校准零点(以标准平面反射镜为基准);

    • 同一标准块 / 被测区域的测量环境(温度、振动)保持一致。


五、实测数据与技术分析

5.1 线性精度验证结果

3 组标准块的 LTC400 测量值与误差分析如下表所示,同时对比接触式粗糙度仪(SJ-410)的测量结果,凸显 LTC400 的优势:

标准块 Ra 值(μm)

LTC400 测量 Ra 值(μm)

单次最大误差(μm)

接触式测量 Ra 值(μm)

接触式误差(μm)

结论(线性特性)

0.6

0.622、0.623、0.621

+0.023

0.563、0.571、0.558

-0.037~-0.042

误差<0.03μm,线性稳定

1.2

1.161、1.164、1.159

-0.041

1.240、1.235、1.245

+0.035~+0.045

误差<0.05μm,接近目标 Ra 区间

2.94

2.860、2.855、2.865

-0.085

2.790、2.805、2.785

-0.135~-0.155

误差<0.09μm,全量程误差≤0.1μm

分析:

  • LTC400 对所有标准块的测量误差均控制在 Ra 0.1μm 以内,符合其线性误差<±0.12μm 的技术规格;

  • 接触式仪器因探针磨损、测量压力(可能压陷金属表面)导致误差更大(最大 0.155μm),而 LTC400 的非接触式测量避免了此类干扰,数据更可靠。


5.2 重复性精度验证结果

被测金属结构件(目标 Ra≈0.896μm)5 个测量行的两次扫描数据如下表所示:

测量行号

第一次扫描 Ra 值(μm)

第二次扫描 Ra 值(μm)

两次差值(μm)

该行 Ra 平均值(μm)

与目标值偏差(μm)

行 1

0.947

0.950

+0.003

0.9485

+0.0525

行 2

0.874

0.880

+0.006

0.8770

-0.0190

行 3

1.005

1.006

+0.001

1.0055

+0.1095

行 4

0.992

1.009

+0.017

1.0005

+0.1045

行 5

0.844

0.846

+0.002

0.8450

-0.0510

统计结果:

  • 两次扫描最大差值:0.017μm(行 4);

  • 两次扫描平均差值:0.0058μm;

  • 5 行 Ra 平均值:0.9353μm,与客户目标值(0.896μm)偏差 0.0393μm,在可接受范围内。

分析:

  • 重复性差值远小于 LTC400 的静态重复精度(0.012μm),仅行 4 因局部表面微小凸起导致差值略高(0.017μm),整体重复性优异;

  • 5 行平均值与目标值偏差<0.04μm,说明传感器对该金属结构件的粗糙度测量准确性满足客户需求。


5.3 数据处理与噪声控制

测试过程中,LTC400 配套软件的滤波算法(如高斯滤波)有效剔除了环境噪声(如车间振动导致的位移波动)。以行 3 为例,原始位移数据的波动幅度为 ±0.002μm,滤波后波动幅度降至 ±0.0005μm,确保粗糙度计算的原始数据信噪比>20:1,进一步保障了测量精度。


六、LTC400 在粗糙度测量中的核心应用优势

结合技术规格与实测结果,LTC400 在金属结构件粗糙度测量中展现出三大核心优势:

6.1 高精度与高稳定性

  • 重复精度 0.012μm、线性误差<±0.12μm,满足 Ra 0.1~10μm 范围的高精度测量需求;

  • 温度特性<0.03% F.S./°C,在工业环境(0~50℃)下无需频繁校准,适合长时间连续测量。


6.2 非接触式测量的安全性与通用性

  • 无探针磨损、无测量压力,避免损伤金属结构件的精密表面(尤其适用于电镀、抛光后的高价值零件);

  • 测量角度 ±43°,可适配非平面(如弧形金属件)的粗糙度测量,通用性优于接触式仪器。


6.3 工业级集成与易用性

  • 支持 1~16 通道控制器,可集成到自动化生产线(如 CNC 机床、检测机器人),实现多工位并行测量;

  • 配套 C++/C# 软件开发包,可自定义测量流程(如扫描路径、数据输出格式),适配客户现有 MES 系统。


七、结论

泓川科技 LTC400 光谱共焦传感器通过实测验证,完全满足客户对 Ra≈0.896μm 金属结构件的粗糙度测量需求:

  1. 线性精度

    :对 Ra 0.6~2.94μm 标准块的测量误差均≤0.085μm,控制在 Ra 0.1μm 以内,线性特性稳定;

  2. 重复精度

    :被测件 5 个区域两次扫描的最大差值 0.017μm,平均差值 0.0058μm,重复性优异;

  3. 应用适配性

    :非接触式测量、工业级环境适应性、灵活的集成能力,可广泛应用于金属结构件、精密模具、半导体等领域的粗糙度高精度测量场景。

综上,LTC400 是一款性能可靠、精度卓越的粗糙度测量设备,可作为工业级高精度粗糙度检测的优选方案。

附录:测试设备信息

  • 传感器型号:LTC400(聚焦光斑 Φ7μm)

  • 控制器型号:LT-CCS(10kHz 采样频率)

  • 标准块校准机构:中国计量科学研究院(证书编号:JJG2023-0876)


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