泓川科技 LTC400 高精度光谱共焦传感器在粗糙度测量中的应用报告
一、引言
表面粗糙度是衡量机械零件表面质量的核心指标,直接影响零件的配合精度、耐磨性、密封性及疲劳寿命。在金属结构件制造领域,高精度粗糙度测量(如 Ra 0.1~3μm 范围)是把控产品质量的关键环节。某客户需求针对 Ra≈0.896μm 的金属结构件,验证测量设备的线性精度与重复精度,泓川科技 LTC400 光谱共焦传感器凭借其纳米级位移测量能力,成为该场景的核心测试设备。本报告基于实测数据,系统分析 LTC400 在粗糙度测量中的技术性能与应用价值。
二、光谱共焦测量原理概述
LTC400 采用光谱共焦技术实现高精度非接触式位移测量,其原理基于 “色差聚焦” 特性,是粗糙度测量的技术核心:
- 光源与色散过程
:传感器发射宽光谱白光(涵盖可见光至近红外波段),经色散镜头后,不同波长的光线聚焦于空间不同位置(短波长聚焦近,长波长聚焦远),形成 “波长 - 距离” 一一对应的聚焦曲线。
- 反射光谱采集
:当光线照射被测物表面时,仅与表面距离匹配的波长会精准聚焦并反射回传感器,其余波长因失焦被滤除;光谱分析仪采集反射光的光谱峰值,通过内置算法反演得到被测点与传感器的实际距离。
- 粗糙度计算逻辑
:通过编码器控制传感器沿被测物表面扫描(采集间隔可至亚微米级),获取表面轮廓的连续位移数据(经滤波处理排除噪声),再根据 GB/T 1031-2009 标准计算算术平均偏差(Ra) 、轮廓最大高度(Ry) 、微观不平度十点高度(Rz) 等粗糙度参数,实现从 “位移测量” 到 “粗糙度分析” 的转化。
三、LTC400 传感器核心技术规格
基于泓川科技官方参数表(LTC400/LTC400B/LTC400S 系列),核心技术参数如下表所示,其高精度特性为粗糙度测量提供硬件支撑:
技术参数 | 规格值 | 备注(测试 / 标定条件) |
---|---|---|
测量中心距离 | 10mm | 以量程中心位置为基准计算 |
量程 | 400μm | 覆盖多数金属结构件粗糙度测量需求(Ra 0.1~10μm 均适用) |
静态重复精度 | 0.012μm | 测量标准镀银膜反射镜,1kHz 采样频率(无平均),连续采集 10000 组数据的均方根偏差 |
线性误差 | <±0.12μm | 采用纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保全量程内误差可控 |
温度特性 | <0.03% F.S./°C | F.S.(满量程)=400μm,适应工业环境温度波动(0~50℃) |
测量角度 | ±43° | 使用标准平面反射镜,1kHz 采样率下倾斜测试,适配非平整表面测量 |
聚焦点光斑直径 | 7μm(LTC400)/14μm(LTC400B)/112μm(LTC400S) | 测量锐利玻璃边缘,以亚微米定位平台 + 激光干涉仪为基准验证,小光斑适配精细表面 |
最小可测厚度 | 5% F.S.(即 20μm) | 支持薄型金属件的粗糙度与厚度同步测量 |
工作模式 | 需配合控制器(LT-CCS/CCD/CCF/CCH) | 控制器通道数可选 1/2/4/8/12/16,适应单工位或多工位并行测量 |
采样频率 | 最高 21kHz(LT-CCH 控制器) | 高采样率确保表面轮廓数据无遗漏,尤其适配粗糙度过渡区域测量 |
防护等级 | IP40 | 防尘设计,满足工业车间环境使用 |
使用环境温度 | 0℃~+50℃(无结露 / 结冰) | 可订制 200℃高温版,适配高温金属件测量场景 |
四、粗糙度测量测试方案设计
针对客户需求(金属结构件 Ra≈0.896μm,验证线性与重复性),设计三层测试方案,确保结果的全面性与可靠性:
4.1 测试目标
验证 LTC400 对目标粗糙度(Ra≈0.896μm)的测量准确性;
通过标准粗糙度块验证传感器的线性精度(覆盖 Ra 0.6~2.94μm,含目标值附近区间);
通过多位置重复扫描验证重复精度(排除局部表面差异对结果的影响)。
4.2 测试设备与样本
核心设备:LTC400 光谱共焦探头 + LT-CCS 控制器(采样频率 10kHz) + 配套测控软件(含滤波与粗糙度计算模块);
标准块:3 组已知 Ra 值的标准粗糙度块(Ra 0.6μm、Ra 1.2μm、Ra 2.94μm),用于线性验证;
被测样本:客户提供的金属结构件(Ra 设计值≈0.896μm,表面清洁无油污)。
4.3 测试流程
线性验证流程:
分别对 3 组标准块进行 3 次重复扫描(扫描长度 5mm,采样间隔 0.001mm);
软件自动滤波处理原始位移数据(排除环境振动与电子噪声),计算每次测量的 Ra 值;
对比 “标准 Ra 值” 与 “LTC400 测量 Ra 值”,计算误差,验证线性特性。
重复性验证流程:
在被测金属结构件表面选取 5 个不重叠的测量区域(行 1~ 行 5,每行间距 2mm);
对每行区域进行 2 次连续扫描(相同扫描参数:长度 5mm,采样间隔 0.001mm);
计算每行两次测量的 Ra 差值,统计最大差值与平均差值,验证重复性。
数据有效性保障:
测试前预热传感器 30 分钟,确保温度稳定(规避温度漂移影响);
每次扫描前校准零点(以标准平面反射镜为基准);
同一标准块 / 被测区域的测量环境(温度、振动)保持一致。
五、实测数据与技术分析
5.1 线性精度验证结果
3 组标准块的 LTC400 测量值与误差分析如下表所示,同时对比接触式粗糙度仪(SJ-410)的测量结果,凸显 LTC400 的优势:
标准块 Ra 值(μm) | LTC400 测量 Ra 值(μm) | 单次最大误差(μm) | 接触式测量 Ra 值(μm) | 接触式误差(μm) | 结论(线性特性) |
---|---|---|---|---|---|
0.6 | 0.622、0.623、0.621 | +0.023 | 0.563、0.571、0.558 | -0.037~-0.042 | 误差<0.03μm,线性稳定 |
1.2 | 1.161、1.164、1.159 | -0.041 | 1.240、1.235、1.245 | +0.035~+0.045 | 误差<0.05μm,接近目标 Ra 区间 |
2.94 | 2.860、2.855、2.865 | -0.085 | 2.790、2.805、2.785 | -0.135~-0.155 | 误差<0.09μm,全量程误差≤0.1μm |
分析:
LTC400 对所有标准块的测量误差均控制在 Ra 0.1μm 以内,符合其线性误差<±0.12μm 的技术规格;
接触式仪器因探针磨损、测量压力(可能压陷金属表面)导致误差更大(最大 0.155μm),而 LTC400 的非接触式测量避免了此类干扰,数据更可靠。
5.2 重复性精度验证结果
被测金属结构件(目标 Ra≈0.896μm)5 个测量行的两次扫描数据如下表所示:
测量行号 | 第一次扫描 Ra 值(μm) | 第二次扫描 Ra 值(μm) | 两次差值(μm) | 该行 Ra 平均值(μm) | 与目标值偏差(μm) |
---|---|---|---|---|---|
行 1 | 0.947 | 0.950 | +0.003 | 0.9485 | +0.0525 |
行 2 | 0.874 | 0.880 | +0.006 | 0.8770 | -0.0190 |
行 3 | 1.005 | 1.006 | +0.001 | 1.0055 | +0.1095 |
行 4 | 0.992 | 1.009 | +0.017 | 1.0005 | +0.1045 |
行 5 | 0.844 | 0.846 | +0.002 | 0.8450 | -0.0510 |
统计结果:
两次扫描最大差值:0.017μm(行 4);
两次扫描平均差值:0.0058μm;
5 行 Ra 平均值:0.9353μm,与客户目标值(0.896μm)偏差 0.0393μm,在可接受范围内。
分析:
重复性差值远小于 LTC400 的静态重复精度(0.012μm),仅行 4 因局部表面微小凸起导致差值略高(0.017μm),整体重复性优异;
5 行平均值与目标值偏差<0.04μm,说明传感器对该金属结构件的粗糙度测量准确性满足客户需求。
5.3 数据处理与噪声控制
测试过程中,LTC400 配套软件的滤波算法(如高斯滤波)有效剔除了环境噪声(如车间振动导致的位移波动)。以行 3 为例,原始位移数据的波动幅度为 ±0.002μm,滤波后波动幅度降至 ±0.0005μm,确保粗糙度计算的原始数据信噪比>20:1,进一步保障了测量精度。
六、LTC400 在粗糙度测量中的核心应用优势
结合技术规格与实测结果,LTC400 在金属结构件粗糙度测量中展现出三大核心优势:
6.1 高精度与高稳定性
重复精度 0.012μm、线性误差<±0.12μm,满足 Ra 0.1~10μm 范围的高精度测量需求;
温度特性<0.03% F.S./°C,在工业环境(0~50℃)下无需频繁校准,适合长时间连续测量。
6.2 非接触式测量的安全性与通用性
无探针磨损、无测量压力,避免损伤金属结构件的精密表面(尤其适用于电镀、抛光后的高价值零件);
测量角度 ±43°,可适配非平面(如弧形金属件)的粗糙度测量,通用性优于接触式仪器。
6.3 工业级集成与易用性
支持 1~16 通道控制器,可集成到自动化生产线(如 CNC 机床、检测机器人),实现多工位并行测量;
配套 C++/C# 软件开发包,可自定义测量流程(如扫描路径、数据输出格式),适配客户现有 MES 系统。
七、结论
泓川科技 LTC400 光谱共焦传感器通过实测验证,完全满足客户对 Ra≈0.896μm 金属结构件的粗糙度测量需求:
- 线性精度
:对 Ra 0.6~2.94μm 标准块的测量误差均≤0.085μm,控制在 Ra 0.1μm 以内,线性特性稳定;
- 重复精度
:被测件 5 个区域两次扫描的最大差值 0.017μm,平均差值 0.0058μm,重复性优异;
- 应用适配性
:非接触式测量、工业级环境适应性、灵活的集成能力,可广泛应用于金属结构件、精密模具、半导体等领域的粗糙度高精度测量场景。
综上,LTC400 是一款性能可靠、精度卓越的粗糙度测量设备,可作为工业级高精度粗糙度检测的优选方案。
附录:测试设备信息
传感器型号:LTC400(聚焦光斑 Φ7μm)
控制器型号:LT-CCS(10kHz 采样频率)
标准块校准机构:中国计量科学研究院(证书编号:JJG2023-0876)
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无锡泓川科技
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